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PVD
Physical Vapour Deposition - Maschinen für physikalische Beschichtungsverfahren

CVD
Chemical Vapour Deposition - Maschinen für chemische Beschichtungsverfahren

Ätzen
Anlagen zum physikalischen, trockenen Ätzen

RTP
Blitzlampen-Temperanlagen

UV-Ozon
UV-Ozon-Reinigungsanlagen