Sputtertargets

Großserien oder Einzelstücke

Wir fertigen auf Anfrage Sputtertargets in allen Materialien und Formen

FHR entwickelt und fertigt Sputtertargets bis 4000 mm Targetlänge nach Kundenwunsch – Großserien ebenso wie Einzelstücke. Ihre Targetanfrage besprechen Sie als erstes kurzfristig mit unseren erfahrenen Materialwissenschaftlern, die Ihnen auch bei ungewöhnlichen Materialien, Materialkombinationen oder Targetgeometrien die technisch machbaren Lösungen aus Target, Bondverfahren und Kühlkörper/Rückplatte vorschlagen.

Diese Lösungen berücksichtigen neben der Herstellbarkeit des Targetmaterials für Ihre konkrete Dünnschicht-Anwendung die nötigen Materialeigenschaften, z. B. Korngrößen und Reinheiten, gegebenenfalls die Auswahl des geeigneten Bondverfahrens und natürlich die Wirtschaftlichkeit. Mit hausinterner Entwicklung und Fertigung der Targets inklusive ihrer speziellen Kühlkörper sowie eventueller Tests in Leistungs- und Parameterprüfständen bieten wir unseren Kunden kurze Lieferzeiten und höchste Qualität.

Galerie Sputtertargets

Kontakt Targetmaterialien

Marian Böhling
Leiter Sputtertargets & Beschichtungsservice

+49 35205 520-317 marian.boehling[at]fhr.de target[at]fhr.de

Unsere Beschichtungsmaterialien

Metalle

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Aluminium

Al

x

x

99.99- 99.9995 %

Antimon

Sb

x

 

99.99- 99.999 %

Bismut

Bi

x

 

99.5, 99.999 %

Bor

B

x

 

99.9 %

Kohlenstoff

C

x

 

99.5, 99.999 %

Cerium

Ce

x

 

99.9, 99.99 %

Chrom

Cr

x

x

99.8- 99.98 %

Kobalt

Co

x

 

99.8 %

Kupfer

Cu

x

x

99.9, 99.9999 %

Erbium

Er

x

 

99.9 %

Germanium

Ge

x

 

99.5, 99.999 %

Gold

Au

x

x

99.99, 99.999 %

Hafnium

Hf

x

 

99.9 %

Holmium

Ho

x

 

99.9 %

Indium

In

x

x

99.99- 99.9999 %

Iridium

Ir

x

 

99.95, 99.99 %

Eisen

Fe

x

 

99.9 %

Magnesium

Mg

x

 

99.9, 99.99 %

Mangan

Mn

x

 

99.9 %

Molybdän

Mo

x

x

99.95 %

Nickel

Ni

x

 

99.7, 99.995 %

Niob

Nb

x

x

99.95 %

Palladium

Pd

x

 

99.95 %

Platin

Pt

x

 

99.99 %

Rhenium

Re

x

 

99.99 %

Ruthenium

Ru

x

 

99.9 %

Scandium

Sc

x

 

99.9 %

Silicium

Si

x

x

99.99, 99.9999 %

Silber

Ag

x

x

99.9, 99.99 %

Tantal

Ta

x

x

99.95 %

Terbium

Tb

x

 

99.9 %

Zinn

Sn

x

x

99.99, 99.999 %

Titan

Ti

x

x

99.7- 99.995 %

Wolfram

W

x

 

99.95 %

Vanadium

V

x

 

99.8 %

Yttrium

Y

x

 

99.9 %

Zink

Zn

x

 

99.99 %

Zirconium

Zr

x

 

99.8 %

PDF der Liste unserer Beschichtungsmaterialien

Legierungen

Formel

Planar

Rohr

Reinheit

Aluminium - Chrom

(Al)X (Cr)1-X

x

x

99.99 %

Aluminium - Kobalt

(Al)X (Co)1-X

x

 

99.95 %

Aluminium - Kupfer

(Al)X (Cu)1-X

x

x

99.95 %

Aluminium - Eisen

(Al)X (Fe)1-X

x

 

99.99 %

Aluminium - Silicium

(Al)X (Si)1-X

x

x

99.5- 99.95 %

Aluminium - Silicium - Kupfer

(Al)X (Si)Y (Cu)Z

x

 

99.5- 99.95 %

Aluminium - Magnesium - Solicium

(Al)X (Mg)Y (Si)Z

x

 

99.5- 99.95 %

Aluminium - Titan

(Al)50 (Ti)50

x

 

99.95 %

Chrom - Nickel

(Cr)X(Ni)1-X

x

x

99.9 %

Chrom - Kobalt

(Cr)X(Co)1-X

x

 

99.95 %

Chrom - Kobalt - Nickel

(Cr)X (Co)Y (Ni)Z

x

 

99.95 %

Kobalt - Nickel

(Co)X(Ni)1-X

x

 

99.95 %

Eisen - Nickel

(Fe)19 (Ni)8

x

 

99.9 %

Indium - Zinn

(In)X (Sn)1-X

x

x

99.9- 99.995 %

Nickel - Vanadium

(Ni)93 (V)07

x

x

99.5- 99.95 %

Titan - Wolfram

(Ti)10 (W)90

x

 

99.9, 99.995 %

Titan - Wolfram

(Ti)15 (W)85

x

 

99.9, 99.995 %

Yttrium - Barium - Kupfer - Oxide

 

x

 

99.9, 99.995 %

Boride

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Aluminiumborid

AlB2

x

 

99 %

Lanthaniumborid

LaB6

x

 

99.5 %

Titanborid

TiB2

x

 

99.5 %

Karbide

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Borkarbid

B4C

x

 

99.5 %

Chromkarbid

Cr3C2

x

 

99.5 %

Molybdänkarbid

MoC

x

 

99.5 %

Niobkarbid

NbC

x

 

99.5 %

Siliciumkarbid

SiC

x

 

99.5, 99.9 %

Tantalkarbid

TaC

x

 

99.5 %

Titankarbid

TiC

x

 

99.5 %

Wolframkarbid

WC

x

 

99.5 %

Vanadiumkarbid

VC

x

 

99.5 %

Zirkoniumkarbid

ZrC

x

 

99.5 %

Nitride

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Aluminiumnitrid

AlN

x

 

99, 99.8 %

Bornitrid

BN

x

 

97.5, 99.9 %

Hafniumnitrid

HfN

x

 

99.5 %

Siliciumnitrid

Si3N4

x

 

98, 99.9 %

Tantalnitrid

TaN

x

 

99.5 %

Titannitrid

TiN

x

 

99.5 %

Vanadiumnitrid

VN

x

 

99.5 %

Zirkoniumnitrid

ZrN

x

 

99.5 %

Oxide

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Aluminiumoxid

Al2O3

x

 

99.99 %

Antimonoxid

Sb2O3

x

 

99.99 %

Bariumtitanat

BaTiO3

x

 

99.9 %

Bismutoxid

Bi2O3

x

 

99.9 %

Bismuttitanat

Bi4TiO3

x

 

99.9 %

Ceriumoxid

CeO2

x

 

99.99 %

Galliumoxid

Ga2O3

x

 

99.99- 99.999 %

Hafniumoxid

HfO2

x

 

99.9 %

Indiumoxid

In2O3

x

 

99.95- 99.999 %

Indium-Zinn-Oxid

(In2O3)X (SnO2)1-X

x

x

99.95- 99.999 %

Eisenoxid

Fe2O3, Fe2O4

x

 

99.5- 99.9 %

Magnesiumoxid

MgO

x

 

99.5- 99.95 %

Nionoxid

Nb2O5

x

x

99.5- 99.95 %

Siliciumoxid

SiO2

x

 

99.9- 99.999 %

Strontiumtitanat

SrTiO3

x

 

99.9 %

Tantaloxid

Ta2O5

x

 

99.95 %

Titanoxid

TiO2

x

x

99.5- 99.95 %

Zinnoxid

SnO2

x

 

99.9, 99.99 %

Zinn-Antimon-Oxid

SnO2 - Sb2O3

x

 

99.99 %

Zinkoxid

ZnO

x

x

99.9 %

Zirkoniumoxid

ZrO2

x

 

99.7 %

Silicide

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Aluminiumsilicit

AlSi2

x

 

99.5 %

Chromsilicit

CrSi2, Cr3Si

x

 

99.5 %

Molybdänsilicit

MoSi2

x

 

99.5 %

Tantalsilicit

TaSi2, TaSi3

x

 

99.5 %

Sulfide

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Indiumsulfid

In2S3

x

 

99.9, 99.99%

Molybdänsulfid

MoS2

x

 

99.9 %

Zinksulfid

ZnS

x

 

99.9 %

Telluride

Zeichen

Planar

Rohr

Reinheit

Antimontellurit

Sb2Te3

x

 

99.5- 99.99 %

Bismuttellurit

Bi2Te3

x

 

99.5- 99.99 %

Mangantellurit

MnTe

x

 

99.5- 99.99 %

Zinktellurit

ZnTe

x

 

99.5- 99.99 %