Elektronikindustrie

Waferbeschichtung, Hochleistungs-Bauelemente,
optoelektronische Sensoren

Ganz besonders umfangreiches Know-How bietet die FHR Anlagenbau GmbH, wenn es um dünne Schichten für die Elektronik geht. In diesem Marktsegment haben wir unsere Wurzeln. Die Firmengründer begannen einst ihre Laufbahn im VEB Elektromat in Dresden. Dort wurden Vakuumbeschichtungsanlagen entwickelt und produziert. Die Entwicklung der Sputtertechnologie und der chemischen Dampfphasenabscheidung sind historisch eng verwoben mit dem Aufkommen der Halbleitertechnik.

Bis heute sind Dünnschichttechnologien wesentliche Schlüsseltechnologien für die Mikroelektronik. Auch für die Zukunft wird daher Fortschritt in der Halbleiterfertigung untrennbar verbunden sein mit der Weiterentwicklung der entsprechenden Beschichtungsverfahren. So wird für die weitere Miniaturisierung der Roadmap des Branchenverbandes SEMI zufolge der Atomlagenabscheideprozess (ALD) an Bedeutung gewinnen. 

FHR-Produkte für elektronische Anwendungen

Clusteranlagen von FHR werden von unseren Kunden aus Forschung und Industrie geschätzt. Die FHR.Star-Produktreihe wird von vielen Unternehmen und Instituten als Standardlösung für das Prozessieren von Wafern genutzt. Typisch sind dabei Kombinationen aus Beschichtungs-, Ätz- und Temperprozessen, die über das Auftragen  der Schicht hinaus auch Schichtstrukturierung sowie Schichtmodifikation erlauben.

Anlagen und Verfahren von FHR werden unter anderem zur Abscheidung elektrischer und elektronischer Funktionsschichten wie Kontakt-, Magnet-, piezoelektrische Schichten und Dielektrika sowie zur Fertigung elektronischer Schaltstrukturen und Bauteile wie MEMS, Sensoren, Widerstände, Kondensatoren, Transistoren und auch SiC-Leistungshalbleiter eingesetzt. Und mit unserer Anlage FHR.Star.500-EOSS® lassen sich optische Filter direkt auf dem Sensor erzeugen.

Die FHR.Roll-Produktreihe unterstützt unsere Kunden im Segment der flexiblen Elektronik. Mit unseren Anlagen werden beispielsweise Leiterbahnen auf Polymer- und Metallfolien, Kondensatorfolien und biegsame Displayfolien hergestellt.

Im Bereich der organischen Elektronik nutzen Unternehmen Anlagen von FHR für das Aufdampfen organischer Moleküle (Monomere) bei der Herstellung organischer Solarzellen, Displays und Leuchten.

Vakuumbeschichtungsanlagen

Standardisierte Lösungen oder ganz individuell für Ihre Anwendung konstruiert