Bonden mit Elastomer-Werkstoffen
Verbindungswerkstoff ist ein Elastomer, welches optional Zusätze enthalten kann, um die elektrische Leitfähigkeit zu erreichen. Der Fügevorgang erfolgt bei Raumtemperatur, so dass keine mechanischen Spannungen im Targetverbund nach dem Fügen auftreten, die durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten von Target und Rückplatte bei erhöhter Temperatur verursacht werden. Das Bondverfahren eignet sich für Targetverbunde, die starken mechanischen Kräften ausgesetzt sind.

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Spezielle Eigenschaften der Elastomer-Bondung
- Gute Duktilität des Elastomers zur Kompensation mechanischer Spannungen
- Geringe/geringere Wärmeleitfähigkeit
- Elektrische Leitfähigkeit in Abhängigkeit der Zusätze von isolierend bis gut leitfähig