Großserien oder Einzelstücke
Wir fertigen auf Anfrage Sputtertargets in allen Materialien und Formen
FHR entwickelt und fertigt Sputtertargets bis 4000 mm Targetlänge nach Kundenwunsch – Großserien ebenso wie Einzelstücke. Ihre Targetanfrage besprechen Sie als erstes kurzfristig mit unseren erfahrenen Materialwissenschaftlern, die Ihnen auch bei ungewöhnlichen Materialien, Materialkombinationen oder Targetgeometrien die technisch machbaren Lösungen aus Target, Bondverfahren und Kühlkörper/Rückplatte vorschlagen.
Diese Lösungen berücksichtigen neben der Herstellbarkeit des Targetmaterials für Ihre konkrete Dünnschicht-Anwendung die nötigen Materialeigenschaften, z. B. Korngrößen und Reinheiten, gegebenenfalls die Auswahl des geeigneten Bondverfahrens und natürlich die Wirtschaftlichkeit. Mit hausinterner Entwicklung und Fertigung der Targets inklusive ihrer speziellen Kühlkörper sowie eventueller Tests in Leistungs- und Parameterprüfständen bieten wir unseren Kunden kurze Lieferzeiten und höchste Qualität.
Galerie Sputtertargets
















Unsere Beschichtungsmaterialien
Metalle |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Aluminium |
Al |
x |
x |
99.99- 99.9995 % |
Antimon |
Sb |
x |
99.99- 99.999 % |
|
Bismut |
Bi |
x |
99.5, 99.999 % |
|
Bor |
B |
x |
99.9 % |
|
Kohlenstoff |
C |
x |
99.5, 99.999 % |
|
Cerium |
Ce |
x |
99.9, 99.99 % |
|
Chrom |
Cr |
x |
x |
99.8- 99.98 % |
Kobalt |
Co |
x |
99.8 % |
|
Kupfer |
Cu |
x |
x |
99.9, 99.9999 % |
Erbium |
Er |
x |
99.9 % |
|
Germanium |
Ge |
x |
99.5, 99.999 % |
|
Gold |
Au |
x |
x |
99.99, 99.999 % |
Hafnium |
Hf |
x |
99.9 % |
|
Holmium |
Ho |
x |
99.9 % |
|
Indium |
In |
x |
x |
99.99- 99.9999 % |
Iridium |
Ir |
x |
99.95, 99.99 % |
|
Eisen |
Fe |
x |
99.9 % |
|
Magnesium |
Mg |
x |
99.9, 99.99 % |
|
Mangan |
Mn |
x |
99.9 % |
|
Molybdän |
Mo |
x |
x |
99.95 % |
Nickel |
Ni |
x |
99.7, 99.995 % |
|
Niob |
Nb |
x |
x |
99.95 % |
Palladium |
Pd |
x |
99.95 % |
|
Platin |
Pt |
x |
99.99 % |
|
Rhenium |
Re |
x |
99.99 % |
|
Ruthenium |
Ru |
x |
99.9 % |
|
Scandium |
Sc |
x |
99.9 % |
|
Silicium |
Si |
x |
x |
99.99, 99.9999 % |
Silber |
Ag |
x |
x |
99.9, 99.99 % |
Tantal |
Ta |
x |
x |
99.95 % |
Terbium |
Tb |
x |
99.9 % |
|
Zinn |
Sn |
x |
x |
99.99, 99.999 % |
Titan |
Ti |
x |
x |
99.7- 99.995 % |
Wolfram |
W |
x |
99.95 % |
|
Vanadium |
V |
x |
99.8 % |
|
Yttrium |
Y |
x |
99.9 % |
|
Zink |
Zn |
x |
99.99 % |
|
Zirconium |
Zr |
x |
99.8 % |
PDF der Liste unserer Beschichtungsmaterialien
Legierungen |
Formel |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Aluminium - Chrom |
(Al)X (Cr)1-X |
x |
x |
99.99 % |
Aluminium - Kobalt |
(Al)X (Co)1-X |
x |
99.95 % |
|
Aluminium - Kupfer |
(Al)X (Cu)1-X |
x |
x |
99.95 % |
Aluminium - Eisen |
(Al)X (Fe)1-X |
x |
99.99 % |
|
Aluminium - Silicium |
(Al)X (Si)1-X |
x |
x |
99.5- 99.95 % |
Aluminium - Silicium - Kupfer |
(Al)X (Si)Y (Cu)Z |
x |
99.5- 99.95 % |
|
Aluminium - Magnesium - Solicium |
(Al)X (Mg)Y (Si)Z |
x |
99.5- 99.95 % |
|
Aluminium - Titan |
(Al)50 (Ti)50 |
x |
99.95 % |
|
Chrom - Nickel |
(Cr)X(Ni)1-X |
x |
x |
99.9 % |
Chrom - Kobalt |
(Cr)X(Co)1-X |
x |
99.95 % |
|
Chrom - Kobalt - Nickel |
(Cr)X (Co)Y (Ni)Z |
x |
99.95 % |
|
Kobalt - Nickel |
(Co)X(Ni)1-X |
x |
99.95 % |
|
Eisen - Nickel |
(Fe)19 (Ni)8 |
x |
99.9 % |
|
Indium - Zinn |
(In)X (Sn)1-X |
x |
x |
99.9- 99.995 % |
Nickel - Vanadium |
(Ni)93 (V)07 |
x |
x |
99.5- 99.95 % |
Titan - Wolfram |
(Ti)10 (W)90 |
x |
99.9, 99.995 % |
|
Titan - Wolfram |
(Ti)15 (W)85 |
x |
99.9, 99.995 % |
|
Yttrium - Barium - Kupfer - Oxide |
x |
99.9, 99.995 % |
Boride |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Aluminiumborid |
AlB2 |
x |
99 % |
|
Lanthaniumborid |
LaB6 |
x |
99.5 % |
|
Titanborid |
TiB2 |
x |
99.5 % |
Karbide |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Borkarbid |
B4C |
x |
99.5 % |
|
Chromkarbid |
Cr3C2 |
x |
99.5 % |
|
Molybdänkarbid |
MoC |
x |
99.5 % |
|
Niobkarbid |
NbC |
x |
99.5 % |
|
Siliciumkarbid |
SiC |
x |
99.5, 99.9 % |
|
Tantalkarbid |
TaC |
x |
99.5 % |
|
Titankarbid |
TiC |
x |
99.5 % |
|
Wolframkarbid |
WC |
x |
99.5 % |
|
Vanadiumkarbid |
VC |
x |
99.5 % |
|
Zirkoniumkarbid |
ZrC |
x |
99.5 % |
Nitride |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Aluminiumnitrid |
AlN |
x |
99, 99.8 % |
|
Bornitrid |
BN |
x |
97.5, 99.9 % |
|
Hafniumnitrid |
HfN |
x |
99.5 % |
|
Siliciumnitrid |
Si3N4 |
x |
98, 99.9 % |
|
Tantalnitrid |
TaN |
x |
99.5 % |
|
Titannitrid |
TiN |
x |
99.5 % |
|
Vanadiumnitrid |
VN |
x |
99.5 % |
|
Zirkoniumnitrid |
ZrN |
x |
99.5 % |
Oxide |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Aluminiumoxid |
Al2O3 |
x |
99.99 % |
|
Antimonoxid |
Sb2O3 |
x |
99.99 % |
|
Bariumtitanat |
BaTiO3 |
x |
99.9 % |
|
Bismutoxid |
Bi2O3 |
x |
99.9 % |
|
Bismuttitanat |
Bi4TiO3 |
x |
99.9 % |
|
Ceriumoxid |
CeO2 |
x |
99.99 % |
|
Galliumoxid |
Ga2O3 |
x |
99.99- 99.999 % |
|
Hafniumoxid |
HfO2 |
x |
99.9 % |
|
Indiumoxid |
In2O3 |
x |
99.95- 99.999 % |
|
Indium-Zinn-Oxid |
(In2O3)X (SnO2)1-X |
x |
x |
99.95- 99.999 % |
Eisenoxid |
Fe2O3, Fe2O4 |
x |
99.5- 99.9 % |
|
Magnesiumoxid |
MgO |
x |
99.5- 99.95 % |
|
Nionoxid |
Nb2O5 |
x |
x |
99.5- 99.95 % |
Siliciumoxid |
SiO2 |
x |
99.9- 99.999 % |
|
Strontiumtitanat |
SrTiO3 |
x |
99.9 % |
|
Tantaloxid |
Ta2O5 |
x |
99.95 % |
|
Titanoxid |
TiO2 |
x |
x |
99.5- 99.95 % |
Zinnoxid |
SnO2 |
x |
99.9, 99.99 % |
|
Zinn-Antimon-Oxid |
SnO2 - Sb2O3 |
x |
99.99 % |
|
Zinkoxid |
ZnO |
x |
x |
99.9 % |
Zirkoniumoxid |
ZrO2 |
x |
99.7 % |
Silicide |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Aluminiumsilicit |
AlSi2 |
x |
99.5 % |
|
Chromsilicit |
CrSi2, Cr3Si |
x |
99.5 % |
|
Molybdänsilicit |
MoSi2 |
x |
99.5 % |
|
Tantalsilicit |
TaSi2, TaSi3 |
x |
99.5 % |
Telluride |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Antimontellurit |
Sb2Te3 |
x |
99.5- 99.99 % |
|
Bismuttellurit |
Bi2Te3 |
x |
99.5- 99.99 % |
|
Mangantellurit |
MnTe |
x |
99.5- 99.99 % |
|
Zinktellurit |
ZnTe |
x |
99.5- 99.99 % |
Sulfide |
Zeichen |
Planar |
Rohr |
Reinheit |
---|---|---|---|---|
Indiumsulfid |
In2S3 |
x |
99.9, 99.99% |
|
Molybdänsulfid |
MoS2 |
x |
99.9 % |
|
Zinksulfid |
ZnS |
x |
99.9 % |