Ziel des Vorhabens ist die Erforschung von Prozessen und Technologien im Bereich weniger Atomlagen auf der Basis der Atomlagenabscheidung (ALD) und des Atomlagenätzens (ALE). FHR entwickelt gemeinsam mit Sempa und unter Beratung der Forschungsinstitute ein Plasma-Demonstratormodul zum Einsatz beider Atomlagenprozesse (ALP) auf Wafern bis 300 mm Durchmesser. FAP und FHR entwickeln dafür die Plasmaquellentechnik. IKTS und FHR entwickeln auf dem Demonstratormodul plasmagestützte ALD- und ALE-Prozesse. Die TU Dresden erforscht auf einer eigenen Anlage thermische ALE-Prozesse.

In diesem Projekt sollen großflächige Beleuchtungsanwendungen mit Organischen Leuchtdioden (OLEDs) auf flexiblen Substraten entwickelt werden. Im Fokus steht dabei Dünnstglas, das durch seine hervorragenden Barriereeigenschaften Vorteile gegenüber Kunststoff als Substrat bietet.

Zur Realisierung der Aufgabenstellung werden folgende Entwicklungen erfolgen:

• Integration der Wicklungsprozesse des Substrates in die Beschichtungsanlage
• Erarbeitung von Laserschneid- und Strukturierungsprozessen für die Substratvereinzelung und Verschaltung
• Neue effizienten Schutzschichten für die OLEDs sowie transparente elektrischen Kontakte
• Entwicklung von Demonstratoren, welche die Leistungsfähigkeit der Technologie verdeutlichen

FHR entwickelt im Rahmen dieses Projekts die nötigen Technologien, um eine bereits bestehende Rolle-zu-Rolle-Anlage nachträglich auf das Wickeln von Dünnstglas umzurüsten. Mit diesem Know-how eröffnet FHR auch Betreibern bestehender Rolle-zu-Rolle-Anlagen einen kostengünstigen Weg, die Vorteile des Dünnstglases als Substrat nachträglich nutzen zu können.