Förderprojekte

Arbeiten an den Prozessen der Zukunft

  • Öffentliche Förderung
  • Partner aus Wissenschaft und Industrie
  • Vorlaufentwicklung

Atomic Layer Processing (ALP)

Projektlaufzeit: 10/​2018-09/​2021
Förderkennzeichen: 100319830/3528

Projektbeschreibung

Ziel des Vorhabens ist die Erforschung von Prozessen und Technologien im Bereich weniger Atomlagen auf der Basis der Atomlagenabscheidung (ALD) und des Atomlagenätzens (ALE). FHR entwickelt gemeinsam mit Sempa und unter Beratung der Forschungsinstitute ein Plasma-Demonstratormodul zum Einsatz beider Atomlagenprozesse (ALP) auf Wafern bis 300 mm Durchmesser. FAP und FHR entwickeln dafür die Plasmaquellentechnik. IKTS und FHR entwickeln auf dem Demonstratormodul plasmagestützte ALD- und ALE-Prozesse. Die TU Dresden erforscht auf einer eigenen Anlage thermische ALE-Prozesse.

Projektpartner

  • Technische Universität Dresden
  • Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme
  • FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
  • FHR Anlagenbau GmbH
  • SEMPA Systems GmbH