Sie haben Fragen?

Für persönliche Informationen nutzen Sie das folgende Kontaktformular oder rufen Sie uns gern an.

Jetzt anrufen:

+49 35205 520-0

Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-Technologie

FHR.LINE-Produktreihe

    Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E, sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion.

  1. Horizontale Inlinesysteme
  2. Vertikale Inlinesysteme
  3. Carrierlos und mit Carriern
  4. Mit und ohne Carrier-Rückführungssysteme
  5. Auf Wunsch mit vollautomatischer Substratbestückung

  1. Elektronik
  2. Leiterplatten
  3. Sensorik
  4. Display
  5. OLED
  6. Dünnschichtsolarzellen
  7. Dünnschichtbatterien
  8. Bipolarplatten
  9. Filter
  10. Verschleiß- oder Korrosionsschutz
  11. Dekorative Beschichtung
  12. und vieles mehr

Inline-Konzepte sind die richtige Antwort für hochproduktives Magnetron-Sputtern, thermisches Bedampfen oder PECVD-Beschichten jeglicher flächigen Substrate. Wir bieten individuell auf Ihre Substratgröße zugeschnittene Inline-Vakuumbeschichtungslösungen mit horizontaler oder vertikaler Substratlage.

Eine Substratvorbehandlung durch Heizen oder Ätzen sowie eine vollautomatische Bestückung können von uns kundenspezifisch integriert werden. Als hochproduktive Durchlaufanlagen mit konstantem Produkt, oder als Pendelanlagen mit hoher Flexibilität – dank wechselbarer Targets sind Inline-Anlagen breit einsetzbar.

Die folgenden Technologien können entsprechend den spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Inline-Anlagen implementiert werden:

Mit den Anlagen der FHR.Line-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.

  1. Attraktive Invest- und Betriebskosten
  2. Vollautomatisches Be- und Entladen
  3. Doppelseitenbeschichtung möglich
  4. Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
  5. Reduzierter Aufwand bei Modifikation oder Erweiterung durch modularen Aufbau
  6. Geschlossener sekundärer Kühlkreislauf möglich
  7. Vollautomatische Prozesskontrolle
  8. Hohe Produktivität
Ihr Ansprechpartner

Ihr Ansprechpartner

Sie haben Fragen?

Sie wollen mehr zur FHR.Line-Produktreihe wissen? Unser Experte Sven Häberlein hilft Ihnen gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.

Produkt anfragen

Sie möchten mehr über unser Produkt erfahren? Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung. Kontaktieren Sie uns noch heute, um detaillierte Informationen anzufordern, Fragen zu stellen oder eine individuelle Beratung zu erhalten.

Ihr Interesse ist uns wichtig, und wir freuen uns darauf, von Ihnen zu hören!