Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-Technologie
Unsere Inline-Konzepte
Inline-Konzepte sind die richtige Antwort für hochproduktives Magnetron-Sputtern, thermisches Bedampfen oder PECVD-Beschichten jeglicher flächiger Substrate. Wir bieten individuell auf Ihre Substratgröße zugeschnittene Inline-Vakuumbeschichtungslösungen mit horizontaler oder vertikaler Substratlage. Eine Substratvorbehandlung durch Heizen oder Ätzen sowie eine vollautomatische Bestückung können von uns kundenspezifisch integriert werden. Als hochproduktive Durchlaufanlagen mit konstantem Produkt oder als Pendelanlagen mit hoher Flexibilität dank wechselbarer Targets sind Inline-Anlagen breit einsetzbar.
Kombinierbare Prozesstechnologien
Die folgenden Technologien können entsprechend Ihrer spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Inline-Anlagen implementiert werden.
- Magnetron-Sputtern
- Thermisches Bedampfen
- Plasma-unterstützte chemische Dampfphasen-Abscheidung (PECVD)
- Plasma-Ätzen (PE) / Reaktives Ionen-Ätzen (RIE)
- Wärmebehandlung
Ihre Vorteile auf einen Blick
Mit den Anlagen der FHR.Line-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.
- Attraktive Invest- und Betriebskosten
- Vollautomatischen Be- und Entladen
- Doppelseitenbeschichtung möglich
- Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
- Reduzierter Aufwand bei Modifikation oder Erweiterung durch modularen Aufbau
- Geschlossener sekundärer Kühlkreislauf möglich
- Vollautomatische Prozesskontrolle
- Hohe Produktivität
Galerie FHR.Line-Projekte
