Unternehmen

Die FHR Anlagenbau GmbH

Einer der Pioniere der Dünnschicht­tech­no­logie

Eine Gruppe engagierter Dresdener Ingenieure mit langjähriger Erfahrung in der Dünnschicht- und Mikrosystemtechnik gründete 1991 das Unternehmen mit dem Ziel, moderne funktionale Beschichtungen in maßgeschneiderten Anlagenkonzepte umzusetzen.

Heute sind wir The Thin Film Company.

Zu unserer in mehr als 25 Jahren stetig gewachsenen Kundenbasis zählen namhafte Volumenproduzenten ebenso wie kleine- und mittelständische Hidden Champions. Forscher und Entwickler aus Industrie und Lehre bauen bereits in den sehr frühen Entwicklungsphasen ihrer Produkte und Verfahren auf unsere Innovationsfreude und Kompetenz im Bereich funktionaler Beschichtungen und stellen uns regelmäßig vor neue Herausforderungen.

Nach wie vor liegen unsere Wurzeln im Sonderanlagenbau. Die von uns bisher ausgelieferten mehr als 200 Anlagenplattformen ermöglichen es uns, auf eine Vielzahl von modularen und in der Praxis erprobten Baugruppen zurückzugreifen. Wir sind einerseits Experten, wenn es darum geht, einzigartige Anforderungen in robuste Produktionsanlagen und Prozesse zu übersetzen. Andererseits entwickeln wir auf Applikationen zugeschnittene Serienanlagen, übernehmen für Sie die Vorserienqualifikation, oder entwickeln gemeinsam mit Ihnen speziell auf Ihre Anforderungen abgestimmte Materialzusammensetzungen, der in unseren Anlagen eingesetzten Verbrauchsmaterialien (Targets). Service und Consulting sind für uns selbstverständlich und runden das Portfolio ab.

Geschäfts­leitung (v. l . n . r.): Dr. Reinhard Fendler - Gründer, Torsten Winkler - CEO, Sven Eigler - CFO

Unsere Kernkompetenzen in der Dünnschichttechnologie

Engineering-Kompetenz

Das Engineering von Sonderanlagen ist für FHR ebenso eine Kernkompetenz, wie die Ableitung von Anlagenplattformen oder deren Umsetzung in Serienanlagen. Was jede unserer Anlagen eint, ist die Abscheidung funktionaler Beschichtungen im Vakuum.

Es ist unser Anspruch, neue Erkenntnisse aus Forschung und Entwicklung auch für industrielle Anwendungen nutzbar zu machen. Diesen Weg gehen wir gemeinsam mit unseren Kunden, angefangen bei der Schichtstapelentwicklung, über die Umsetzung in Pilotanlagen bis zur Skalierung im industriellen Maßstab. 

Wir sind Experten wenn es darum geht, auch sehr spezielle oder individuelle Kundenanforderungen in robuste Anlagentechnik zu übersetzen. Dabei verknüpfen wir das Wissen über die Prozesstechnik, die mechanische Konstruktion, Softwareerstellung und Automatisierung. Der Clou besteht darin, Sonderanlagen so zu gestalten, dass mit ihnen wettbewerbsfähige Produkte (Cost of Ownership) herstellbar sind.

Prozesstechnik-Kompetenz

Prozesstechnik-Kompetenz haben wir uns für eine Vielzahl von Technologien erarbeitet. Dazu gehören reaktives und nicht-reaktives Magnetronsputtern, Vakuumbedampfen, CVD und PECVD für das hocheffiziente Abscheiden von Metallen, Oxiden und Nitriden, die Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition) für das Abscheiden ultradünner fubktionaler Beschichtungen homogener Schichtdicke auf komplexen 3D-Oberflächenstrukturen, sowie plasmaunterstützte Ätztechnologien für Oberflächenbehandlung und ultraeffizienten Materialabtrag (Hochrate-Ätzen).

Im Ergebnis stehen stabile, produktionstaugliche Prozesse. Wir sind erst zufrieden, wenn unsere Kunden funktionale Beschichtungen in der gewünschten Qualität herstellen.

Material-Kompetenz

Material-Kompetenz ist entscheidend für das Abscheiden perfekter funktionaler Beschichtungen auf den unterschiedlichsten Substraten. Aus diesem Grunde liefern wir nicht nur Anlagen, sondern auch die darin benötigten Verbrauchsmaterialien. Sputtertargets beispielsweise werden in unserem Hause von Experten entwickelt und gefertigt, die darum wissen, dass auch Gefüge und Kornstruktur des Ausgangsmaterials Auswirkungen auf die Qualität funktionaler Beschichtungen und somit auf die Produkte unserer Kunden haben.

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centrotherm international AG

Seit 2008 ist die FHR Anlagenbau eine 100-prozentige Tochter der centrotherm international AG mit Sitz in Blaubeuren (Süddeutschland). Innerhalb des Konzernverbundes der centrotherm international AG hat die FHR Anlagenbau zum einen die Rolle des Sonderanlagenbauers inne und ist andererseits anerkannter Experte für alle Fragen im und um das Aufbringen funktionaler Beschichtungen im Vakuum.

Die centro­therm inter­na­tional AG entwi­ckelt und reali­siert seit über 60 Jahren innovative thermische Lösungen. Als führender, global agierender Techno­lo­gie­konzern bietet sie Produk­ti­ons­lö­sungen für die Photo­voltaik-, Halbleiter- und Mikro­elek­tro­nik­in­dustrie an.

Die kontinuierliche Weiterentwicklung ihrer erfolgreichen Lösungen in thermischer Prozessierung und Beschichtung wie z. B. für die Herstellung von kristallinen Solarzellen und Leistungshalbleitern bildet die Basis für erfolgreiche Partnerschaften mit Industrie, Forschung und Entwicklung. Gemeinsam stellt sich centrotherm den täglichen Herausforderungen, neue Trends zu setzen, die Effizienz in der Herstellung z. B. von Solarzellen und Halbleitern zu maximieren und gepaart mit langen Maschinenlaufzeiten, die Investitionen ihrer Kunden zu sichern. So generiert centrotherm werthaltige Wettbewerbsvorteile für ihre Kunden durch zielgerichtete Innovationen von Prozessen und Produktionslösungen.

Firmengelände der centrotherm in Blaubeuren

Vakuumbeschichtungsanlagen

Standardisierte Lösungen oder ganz individuell für Ihre Anwendung konstruiert