Die Geschichte der FHR

Emporgewachsen mit der Dünnschichttechnik in Dresden

Als in Dresden die ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut wurden, lag die Entdeckung des Phänomens „Elektrodenzerstäubung“ (sputtering) bereits mehr als hundert Jahre zurück (William Robert Grove, 1852). Doch erst in den 1970er Jahren waren geeignete Vakuumpumpen erfunden, und es wurde erkannt, dass die Sputterabscheidung eine vorteilhafte Alternative zum thermischen Bedampfen bot, das bis dato dominierte.

Vor al­lem für die Mi­kro­elek­tro­nik wur­de in Dres­den die Ent­wick­lung von Va­ku­um­an­la­gen zur Sput­ter­ab­schei­dung vor­an­ge­trie­ben – und be­reits 1961 der VEB Elek­tro­mat Dres­den als Lie­fe­rant von tech­ni­schen Aus­rüs­tun­gen für die Pro­duk­ti­on von Halb­lei­ter­bau­ele­men­ten ge­grün­det. 1975 wur­den in Dres­den die ers­ten Sput­ter­an­la­gen für in­dus­trie­na­he Va­ku­um­be­schich­tun­gen ent­wi­ckelt und ge­baut.

Schon in den 1980er Jahren waren die späteren Gründer unseres Unternehmens an innovativen Industrieprojekten zum Einsatz von Beschichtungs- und Ätztechnologien in der Mikroelektronik beteiligt.

Beobachtung des Phänomens der Elektrodenzerstäubung durch William R. Grove

Gründung des VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technologischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen

Entwicklung und Bau der ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen in Dresden

Zusammenlegung des VEB Elektromat Dresden und des Instituts für Mikroelektronik Dresden zum VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik (ZFMT)

Gründung der Firma FHR Anlagenbau GmbH im wiedervereinigten Deutschland durch drei Ingenieure des vormaligen VEB Elektromat in Dresden

Entwicklung neuartiger Cluster- und Inline-Systemlösungen zur Vakuumbeschichtung

Umzug des Firmensitzes von Dresden nach Ottendorf-Okrilla

Ausbau und Erweiterung der Fertigung und Bondtechnologie für Großsputtertargets

Beginn der strategischen Zusammenarbeit mit führenden Industriekunden zur Entwicklung komplexer Anlagensysteme

Bau und Lieferung der ersten RIE-Plasmaätzanlagen für F&E-Anwendungen

Erstzertifizierung nach DIN EN ISO 9001

Inbetriebnahme des Neubaus am Standort Ottendorf-Okrilla

Entwicklung neuartiger Rolle-zu-Rolle-Systemlösungen zur Folienbeschichtung

Bau und Lieferung der ersten CVD-Prozessanlagen zur Atomlagenabscheidung (ALD) auf 300-mm-Wafern

FHR wird eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG

Beginn der Lieferung von Großflächen-Glasbeschichtungsanlagen für die Photovoltaik-Industrie

Einweihung des neuen Bürokomplexes und zwei weiterer Fertigungshallen in Ottendorf-Okrilla

Lieferung der weltweit ersten Produktionsanlage zur Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung für 300 mm breite organische Solarzellen an die Firma Heliatek

Lieferung der EOSS®-Sputteranlage für präzisionsoptische Anwendungen an das Fraunhofer IST

Lieferung mehrerer 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersysteme und Rolle-zu-Rolle-Bedampfungssysteme für die Produktion flexibler Solarzellen auf CIGS-Basis

Auslieferung der 3. Anlagengeneration zur Vakuumbeschichtung solarthermischer Absorberrohre für CSP-Kraftwerke

Lieferung eines 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersystems für optisch transparente Folien (Low-E-Beschichtung)

centrotherm photovoltaics AG wird centrotherm international AG

Auslieferung der Präzisionsbeschichtungsanlage FHR.Star.600-EOSS für optische Großsubstrate, Prismen und Linsen

Großauftrag der Manz AG zur Lieferung von Inline-Beschichtungstechnik für CIGS-Solarmodulfabriken

Im Sep­tem­ber 2016 fei­er­ten wir un­ser 25-jäh­ri­ges Fir­men­ju­bi­lä­um

FHR-Mitarbeiter mit Partnern sowie langjährige Partner & Freunde zusammen im Ballsaal des Quality Plaza Hotels in Dresden
Die beiden Geschäftsführer Dr. Fendler & Torsten Winkler beim Anschneiden der Geburtstagstorte
Standard- und Lateintänze als abwechslungsreiche Untermalung unseres Festes
Ein wunderbarer Abend geht zu Ende

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