FHR.Line-Produktreihe

Fertigungsstraßen für die industrielle Produktion, hochproduktive Pilotlinien oder Anlagen für Forschung und Entwicklung

  • Linearer oder oszillierender Substrattransport wählbar
  • Gleichzeitiges Beschichten der Front- und Rückseite möglich
  • Vielfältige Prozesstechnologien integrierbar
  • Vertikale und horizontale Konzepte verfügbar

Inline-Vakuum­be­schich­tungs­an­lagen mit PVD- und Plasma-CVD-Techno­logie

Unsere Inline-Konzepte

Inline-Konzepte sind die richtige Antwort für hochproduktives Magnetron-Sputtern, thermisches Bedampfen oder PECVD-Beschichten jeglicher flächiger Substrate. Wir bieten individuell auf Ihre Substratgröße zugeschnittene Inline-Vakuumbeschichtungslösungen mit horizontaler oder vertikaler Substratlage. Eine Substratvorbehandlung durch Heizen oder Ätzen sowie eine vollautomatische Bestückung können von uns kundenspezifisch integriert werden. Als hochproduktive Durchlaufanlagen mit konstantem Produkt oder als Pendelanlagen mit hoher Flexibilität dank wechselbarer Targets sind Inline-Anlagen breit einsetzbar.

Kombinierbare Prozesstechnologien

Die folgenden Technologien können entsprechend Ihrer spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Inline-Anlagen implementiert werden.

  • Magnetron-Sputtern
  • Thermisches Bedampfen
  • Plasma-unterstützte chemische Dampfphasen-Abscheidung (PECVD)
  • Plasma-Ätzen (PE) / Reaktives Ionen-Ätzen (RIE)
  • Wärmebehandlung

Ihre Vorteile auf einen Blick

Mit den Anlagen der FHR.Line-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.

  • Attraktive Invest- und Betriebskosten
  • Vollautomatischen Be- und Entladen
  • Doppelseitenbeschichtung möglich
  • Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
  • Reduzierter Aufwand bei Modifikation oder Erweiterung durch modularen Aufbau
  • Geschlossener sekundärer Kühlkreislauf möglich
  • Vollautomatische Prozesskontrolle
  • Hohe Produktivität

FHR.Line.1100.V

Vollautomatische vertikale Inline-Anlage für die Abscheidung von funktionalen Schichten

  • Vollautomatisches Be- und Entladen der Substrate
  • Rückseitenhandling ohne Frontseitenkontakt
  • Vollautomatische Prozesskontrolle

Galerie FHR.Line-Projekte

Kontakt Vertrieb Inline-Anlagen

Dr. Bontscho Bontschew
Senior Sales Manager

+49 35205 520-230 bontscho.bontschew[at]fhr.de