我们的公司历程

早期薄膜技术在德累斯顿

当首台应用于工业真空镀膜的溅射设备在德累斯顿研发并制造出时,时隔 “溅射”现象被发现已百余年之久(William Robert Grove, 1852)。遗憾的是,适宜的真空泵直至1970年代才被发明出来,直至此时,人们才意识到溅射沉积工艺是较之热蒸发工艺更佳的选择,从那时起,直至今日,溅射工艺一直是该领域的主导。

德累斯顿鼓励应用于溅射镀膜尤其是微电子领域的真空设备的研发- VEB Elektromat Dresden早在1961年已经成立,旨在作为生产半导体器件的技术设备供应商。第一台应用于工业领域真空镀膜的溅射设备于1975年研发并制造出。 到了1980年代,我们公司的三位创始人已经投入到将镀膜和刻蚀技术应用到微电子产品的工业创新项目中。

William R. Grove发现阴极溅射现象

VEB Elektromat Dresden成立,成为生产半导体器件的技术设备的供应商

在德累斯顿研发并制造了首台工业用途真空溅射镀膜设备

VEB Elektromat Dresden并购,德累斯顿微电子研究院成为VEB微电子研发中心(ZFMT)

两德统一后,前VEB Elektromat三位工程师在德累斯顿共同创立FHR Anlagenbau GmbH

研发应用于真空镀膜的新型多功能枚叶式和在线式连续生产设备解决方案

公司总部从德累斯顿搬迁到Ottendorf-Okrilla

扩大并加强制造产能和大型靶材的绑定技术

与行业一流客户开展战略合作,开发复杂镀膜设备

制造并交付首台应用于研发领域的RIE等离子刻蚀设备

首次获得DIN EN ISO 9001认证

Ottendorf-Okrilla新厂房试运行

研发适于卷材镀膜的创新性卷对卷设备解决方案

制造及交付首台应用于300 mm基片原子层沉积工艺的CVD设备

FHR成为centrotherm photovoltaics AG全资控股子公司

交付应用于光伏领域的大面积玻璃镀膜设备

Ottendorf-Okrilla新办公室和两处新生产车间正式开业

Heliatek交付世界首台应用于300 mm宽度有机太阳能电池的卷对卷真空镀膜生产设备

向福朗霍弗研究院Fraunhofer IST交付首台应用于精密光学的EOSS®溅射设备

交付数台基于CIGS的柔性太阳能电池1600 mm卷对卷型溅射和800 mm蒸发工艺生产设备

交付应用于CSP电站光热吸收管的第三代真空镀膜设备

交付应用于光学透明膜的1600mm卷对卷溅射设备(低辐射膜)

交付四台立式全自动进取样机械手控制式在线镀膜设备,用于制备金属和介电膜

centrotherm photovoltaics AG 变更为 centrotherm international AG

交付 FHR.Star.600-EOSS®精密镀膜设备,用于大尺寸光学基片、棱镜和镜头

主要与Manz AG商讨CIGS太阳能模块工厂在线镀膜技术的交付工作

20169月我们庆祝公司成立25

FHR员工和家属以及公司众多客户伙伴在德累斯顿Quality Plaza酒店

 

Torsten Winkler (CEO) & Dr. Fendler (†) 正在切生日蛋糕

 

绚丽多彩的庆祝活动以及拉丁舞表演

美好的夜晚结束了