摩擦膜

抗磨损保护膜

功能膜被应用于工具或器材上,可减少粘性和摩擦力,或避免磨损。可通过PVDCVD工艺制备的硬膜有金属氮化物和金属碳化物以及无定形碳膜层 (DLC 或类金刚石碳)。FHR拥有特殊反应磁控溅射设备,可用于三维器件的镀膜。

 

 

典型的硬膜有:

  • 氮化钛(TiN)
  • 氮氧化钛(TiOxNx)
  • 氮铝化钛(TiAlN)
  • 氮化铬(CrN)

镀膜材料

所有材质、尺寸和形状,可选粘结方式