摩擦膜

功能膜被应用于工具或器材上，可减少粘性和摩擦力，或避免磨损。可通过PVD和CVD工艺制备的硬膜有金属氮化物和金属碳化物以及无定形碳膜层 (DLC 或类金刚石碳)。FHR拥有特殊反应磁控溅射设备，可用于三维器件的镀膜。

 

 

典型的硬膜有：

• 氮化钛(TiN)
• 氮氧化钛(TiO_xN_x)
• 氮铝化钛(TiAlN)
• 氮化铬(CrN)