运用 PVD 和 PECVD 技术的在线式真空镀膜设备
我们的在线理念
在线式理念是高产出式磁控溅射、热蒸发或PECVD镀膜，尤其是针对刚性基材的最佳方案。根据您的特殊基材尺寸和膜层指标要求，我们可提供立式或卧式结构在线式真空镀膜设备方案。我们可根据客户指标需求，将基材加热或刻蚀等预处理工艺整合到设备中，同时提供全自动进/取样装置。无论是持续产出的高产能连续传输设备还是可以换靶、高度适配产品的往复设备，在线式设备都具有广阔的应用前景。
您可整合这些工艺技术
根据客户应用领域特殊指标需求，我们的在线式设备可整合如下技术
- 磁控溅射
- 热蒸发
- 等离子增强化学气相沉积(PECVD)
- 等离子刻蚀(PE)/反应离子刻蚀(RIE)
- 热处理
客户优势快速预览
FHR.Line产品系列整合复杂多样的产品性能和技术优势，为客户提供高品质镀膜设备
- 极具吸引力的投资和运营成本
- 全自动进取样
- 支持双面镀膜
- 运用FHR溅射技术知识产权
- 模块化设计降低了设备改造或扩展的资源耗费
- 高产能
FHR.Line 项目展示
