FHR.Line 产品系列

工业级生产设备、高产能试验线或研发型设备

  • 单向或双向(往复)基片传输方式
  • 支持正面和背面同时镀膜
  • 可集成多种工艺技术
  • 可选立式或卧式设计

运用 PVDPECVD 技术的在线式真空镀膜设备

我们的在线理念

在线式理念是高产出式磁控溅射、热蒸发或PECVD镀膜,尤其是针对刚性基材的最佳方案。根据您的特殊基材尺寸和膜层指标要求,我们可提供立式或卧式结构在线式真空镀膜设备方案。我们可根据客户指标需求,将基材加热或刻蚀等预处理工艺整合到设备中,同时提供全自动进/取样装置。无论是持续产出的高产能连续传输设备还是可以换靶、高度适配产品的往复设备,在线式设备都具有广阔的应用前景。

您可整合这些工艺技术

根据客户应用领域特殊指标需求,我们的在线式设备可整合如下技术

  • 磁控溅射
  • 热蒸发
  • 等离子增强化学气相沉积(PECVD)
  • 等离子刻蚀(PE)/反应离子刻蚀(RIE)
  • 热处理

客户优势快速预览

FHR.Line产品系列整合复杂多样的产品性能和技术优势,为客户提供高品质镀膜设备

  • 极具吸引力的投资和运营成本
  • 全自动进取样
  • 支持双面镀膜
  • 运用FHR溅射技术知识产权
  • 模块化设计降低了设备改造或扩展的资源耗费
  • 高产能

FHR.Line.1100.V

适于沉积功能膜的全自动立式在线设备

  • 全自动基片进取样
  • 背面处理不接触正面工艺层
  • 全自动工艺控制

FHR.Line 项目展示

联系在线式设备销售负责人

Dr. Bontscho Bontschew
销售总监

+49 35205 520-230 sales[at]fhr.de