适用诸如金属箔或聚合物膜等柔性衬底的溅射、蒸发和PECVD设备
我们的卷对卷概念
现代电子元器件愈发柔性化。我们的卷对卷式镀膜设备可为诸如柔性太阳能电池、有机薄膜显示器和柔性传感器等产品提供绝佳的制造能力。设备适用金属箔和塑料膜等衬底材质，且设备构造可根据衬底宽度定制设计。该设计理念为溅射和蒸发沉积工艺领域的应用提供了最大程度的灵活性。设备可对衬底卷绕装置自由编程并可调整衬底温度，为种类繁多的衬底材料和不同厚度的膜层提供了广阔的工艺窗口。
您可整合这些工艺技术
根据客户应用领域特殊指标需求，我们的在线式设备可整合如下技术
- 磁控溅射
- 热蒸发
- 等离子增强化学气相沉积(PECVD)
- 离子刻蚀(IE)
客户优势快速预览
FHR.Roll产品系列整合复杂多样的产品性能和技术优势，为客户提供高品质镀膜设备
- 成熟可靠的设备理念
- 同时适用研发和生产需求
- 借助FHR独立知识产权的操作系统促使设备控制发挥极度灵活性
- 极具吸引力的投资和运营成本
- 绝佳的靶材利用率
- 更换靶材迅速便捷
FHR.Roll 项目展示
