用于制备传热管选择性吸收膜层的溅射镀膜设备
应用范围
太阳能没有成本而且干旱地区也能利用。与光伏系统不同，太阳能光热能源不需要应用技术复杂的半导体组件，而是可以直接利用光的辐射。与此相关的设计中，槽式镜像系统将被用作太阳能聚集到集热管内。 该过程中，集热管内流动的导热液被加热到450 °C高温。这些热能可被任何热电站用来发电。集热管的吸收比是太阳能集热效率的关键指标。因此，需要在管径四周表面制备选择性吸收层– 由数层金属-陶瓷堆叠而成–以实现超过90%的吸收比。
设备指标要求
设备须具备最多同时对十二个不锈钢集热管镀膜的能力。 这些集热管长4 m，管径四周表面将被镀膜，最终制备完成有多个单层膜组合而成的增透膜。设备应能够满足生产设施高产出要求并避免操作员亲自搬运重型负载。
指标解决方案
FHR.Line.1200.V为立式在线设备，配备进样室、工艺区域、取样室以及载片器复位装置。集热管被装入配有特殊装置的巨型载片器上，这些装置将带动集热管持续旋转，最终实现管面整体的均匀镀膜。实际工艺区域使用旋转靶和平面靶。溅射靶材装配在法兰上，可从正面打开，使得1200 mm靶材的更换工作变得更为轻易。
设备特殊指标包括：
- 真空环境下的旋转工艺实现了全部表面镀膜
- 基材：多种不同直径的不锈钢管
- 带复位功能的载片器由FHR独家研发并实现自动化
- 旋转阴极实现了最高材料利用率及最长靶材服役寿命