用于在薄膜沉底上制备CIGS太阳能电池的卷对卷式生产型设备
应用范围
太阳能不仅没有成本而且–在特定的时间范围内–可以随处取用。当不可避免地需要将能源传输到电网以外的区域，比如偏远地区的电站、户外移动应用或卫星上时，与蓄电池和化石能源相比，太阳能电池更为轻便且价格低廉。太阳能电池也需要做得更轻，才能够安装在结构不适于重型太阳板的屋顶、甚至是船帆上。
设备指标要求
一条用于在薄膜上制备太阳能电池的卷对卷设备产线。这些薄膜可宽达1.6 m，长达3 km并要求具有金属背电极、CIGS吸收层和透明前电极。其中，各电极通过溅射工艺制备，吸收层通过蒸发工艺制备。有时，为了适宜膜层成形，需要将薄膜加热到200 °C以上。
指标解决方案
整条生产线包含四台卷对卷设备，其中两台溅射设备(前电极和背电极)和另外两台蒸发设备(吸收层)分别采用相同设计。对于所有设备，其整体卷绕系统延伸到设备外部并配备大型法兰，以便于卷材的装取作业。技术单元– 配备靶材的磁控管以及蒸发源–装配在腔室内部。设备配备展平和导向卷膜的装置。
设备特殊指标包括：
- 高效卷对卷生产设备，适用宽达1600 mm的整片卷膜
- 整合溅射和蒸发薄膜工艺
- 设备可配备高达三个工艺鼓
- 旋转阴极实现了最高材料利用率及最长靶材服役寿命
- 衬底部分甚至可被加热到200 °C以上
关键指标
|
指标 |
数据 |
|---|---|
|
基材尺寸 |
衬底宽度: 最宽1600 mm, 厚度: 25 - 200 μm |
|
基材材质 |
PET, PEN, PI 及其它聚合物 |
|
沉积材料 |
ITO (AZO, 其它介电材料, 金属及合金) |
|
工艺鼓温度 |
-10 °C ... 200 °C |
