用于在薄膜衬底上制备CIGS太阳能电池的卷对卷式实验室设备
应用范围
太阳能不仅没有成本而且–在特定的时间范围内–可以随处取用。当不可避免地需要将能源传输到电网以外的区域，比如偏远地区的电站、户外移动应用或卫星上时，与蓄电池和化石能源相比，太阳能电池更为轻便且价格低廉。太阳能电池也需要做得更轻，才能够安装在结构不适于重型太阳板的屋顶、甚至是船帆上。
设备指标要求
两台试生产设备设计用于通过卷对卷工艺在薄膜上制备太阳能电池。其中一台用于溅射透明金属电极，另一台通过蒸发工艺制备CIGS吸收层。上述设备可用于工艺研发和样品生产，但不适于大规模生产。因此，这些设备需足够大，以满足生产过程中的实际工艺条件，但鉴于设备、基材和镀膜材料的成本，又不能设计的过大。作为试生产设备，由于工艺细节甚至膜层结构可能需要不断调整，设备功能须极其灵活。
指标解决方案
多套构造相似的两台式卷对卷设备已被应用于多个研发项目，其可在宽300 mm、长500 m的薄膜衬底上制备膜层 – 该尺寸是试生产设备的典型数值。各设备从卷绕系统开始设计，构造近乎完美：设备上部，将对薄膜衬底装卷、放卷及展平；同时，工艺单元– 相应的配备旋转靶材的旋转阴极或蒸发源–被装配在设备下部，分布在工艺鼓周围。工艺鼓温度可控，因为基材温度是膜层成形的关键指标。正面全开腔室门和两个大型侧门设备内部所有部件的接触作业提供了便捷通道。备用法兰口为后续设备升级安装其它部件提供了可能。
设备特殊指标包括：
- 适于设计研发型卷对卷工艺灵活的设备
- 兼容溅射和蒸发工艺构造
- 整合XRD等实时测量技术
- 水冷式工艺鼓或可加热至200 °C以上
- 卷绕过程和工艺参数全自动控制式镀膜工艺