适于制备减反膜的溅射镀膜设备
应用范围
太阳能不仅没有成本而且–在特定的时间范围内–可以随处取用。当不可避免地需要将能源传输到电网以外的区域，比如偏远地区的电站、户外移动应用或卫星上时，与蓄电池和化石能源相比，太阳能电池更为轻便且价格低廉。
设备指标要求
设备设计用作刚性基材薄膜太阳能电池产线的其中一环。设备负责增透膜的制备，该层膜用于降低太阳能电池外表面对太阳光的反射，以便让更多的太阳光透射到电池内用于能源产出。膜组结构由通过溅射工艺(有时为反应溅射工艺)制备的多层介电层组成。作为24/7 全年无休式生产线的一部分，设备须能够自动地接收别处传来的载片盒并能在镀膜工艺完成后将其自动传出。
指标解决方案
在线式设备是上述连续生产型高产出任务的理想设备。FHR.Line.1100.V是立式在线设备，待镀膜的基材将被传输到高产率旋转溅射源前的右上端。然后，机械手将把基片连同大型载片器一起，从载片盒内一片一片地取出，该传输过程将由FHR编程设计。设备与正立面呈7°倾斜，以保障基片牢固贴合在载片器上。这些载片器将在< 8 min的时间内穿过设备完成一整轮工艺，包括通过不断的开合阀门将其从进样室传输到真空腔室内，继而进行加热、镀膜工艺并最终将其放回常压环境下的取样室中。载片器复位装置用于将载片器传回进样室，此处另一台机械手将把基片从载片器上取出并送回到载片盒内。取下的载片器将被第一台机械手重新利用，以便装载新的基片。
设备特殊指标包括：
- 可被用于24/7全年无休式生产线
- 载片器传输以及复位可实现全自动化作业
- FHR知识产权控制系统保障下的自动进取样
- 旋转阴极实现了最高材料利用率及最长靶材服役寿命