适于传感器生产的高产率溅射设备
应用范围
汽车能够自主学习自动驾驶；普通百姓的智能手机中也能应用大量的测量技术；业余爱好者甚至可以购买微型电脑，为院子里的植物建造全自动灌溉系统。复杂自动化系统的价格已不再难以企及 … 这其中大量传感器的应用功不可没。精确了解温度、距离、压力、力、湿度、pH值、气体浓度等指标，能够将理论模型转化为日常生活所用。随着廉价传感器市场的日益增长，越来越多的制造商不断自问如何才能以更低的成本生产更小的传感器。答案就是：应用薄膜技术。
设备指标要求
设备用于PCB导线、电容和电阻等传感器产品的生产。过程中将在100 mm x 100 mm基片完整表面上沉积金属薄膜 – 客户须通过其它设备自行完成应用激光或光刻技术实现的成形工艺。不同于单层工艺，应用最多两种不同材料制备的膜组工艺须依照预先设定的工艺配方执行。无论哪种情况，均要求膜层对基片有较好的黏附力。每个工作日要求制备完成100到200片基片；有时甚至要求双层镀膜。由于未来传感器的生产可能要求应用其它材料，设备具备可扩展能力将成为日后的巨大优势。
指标解决方案
FHR.Line.700.V为紧凑型在线式设备，基片载片器以直立方式穿过设备内部。每次可向同一进样室装入12-16片基片。进样室为圆形结构，配备带动载片器沿纵轴旋转的装置，用于保障基片边缘也能够被镀膜。工艺腔室包含一个用于预清洗和基片表面活化(以实现更佳的黏附力)的刻蚀单元和两个用于金属沉积工艺的平面DC溅射源，腔室将持续泵抽。根据反应工艺配方不同，载片器将按预先设定的速度和频率在上述工艺端口前方移动。维护作业时，工艺单元将被转动到大腔室门位置，以便于操作。工艺腔室的终端位置配备大型盲法兰，用于满足未来增配工艺腔室的需要。依照FHR设备一贯特性，全部组件可通过工艺配方实现自动控制并记录全部参数，以便追溯历史记录。
设备特殊指标包括：
- 可在最大500 mm x 500 mm范围表面镀膜，保障了高产率
- 设计紧凑- 设备主体占地面积仅为0.9 m x 3.3 m
- 可进行双面镀膜
- 自动化镀膜工艺，全部工艺参数可控