薄膜传感器

汽车能够自适应学习自动驾驶，普通百姓的智能手机中也能应用大量的测量技术，业余爱好者甚至可以购买微型电脑，为院子里的植物建造全自动灌溉系统。复杂自动化系统的价格已不再难以企及 … 这其中包含大量传感器的应用。精确了解温度、距离、压力、力、湿度、pH值、气体浓度等指标，能够将理论模型变得真正对日常生活有用。价格低廉的传感器市场正在日益增长。对此，越来越多的传感器制造商正在自问如何能够以更低的成本生产更小的传感器。答案就是：应用薄膜技术。

设备用于在200 mm硅片上制备导体、电容、电阻、压阻膜等，以实现传感器的生产。这些金属、氧化物或氮化物薄膜仅适用于膜厚非均匀性小于+/- 3 %的硅片表面，并且要求膜层与膜层、膜层与硅片间必须保持优异的黏着性。 设备须遵从SEMI标准，以便能够适用半导体工业上游和下游工艺(例如，成型工艺)。另外，设备须能够实现多种传感器工艺配方的全自动作业并在无操作员介入的情况下，在同一轮内完成整批基材的镀膜工艺。最后，设备须具备便于未来扩大产能的灵活性、能够生产极小批次的特殊传感器的能力以及应用新型传感器技术的升级能力(如原子层沉积等)。