溅射靶材

大尺寸或定制件

根据客户需求生产所有形状和材质的溅射靶材

根据客户指标需求,FHR可研发并生产最大长度范围4000 mm的溅射靶材 – 涵盖大尺寸及定制件。第一步,我们经验丰富的材料学家将按照您的指标需求与您简单商讨,提供关于靶材、绑定工艺和散热/背板等可行性技术方案- 内容可能包括非常规材料、复合材料或溅射靶材的形状等。

这些方案将综合考虑您特殊薄膜应用领域溅射靶材材料生产的可行性、所需材料性质- 如颗粒尺寸和纯度- 以便选取最佳的绑定方法,并实现最优投资方案。我们可自行研发生产,提供交货期短、品质最高的溅射靶材,包括特殊散热板和可能需要的性能检测及参数测试。

溅射靶材图片展示

联系靶材材料

Marian Böhling
溅射靶材 & 镀膜服务主管

+49 35205 520-317 marian.boehling[at]fhr.de target[at]fhr.de

我们的镀膜材料

金属

成分

平面靶

旋转靶

纯度

Al

x

x

99.99- 99.9995 %

Sb

x

 

99.99- 99.999 %

Bi

x

 

99.5, 99.999 %

B

x

 

99.9 %

C

x

 

99.5, 99.999 %

Ce

x

 

99.9, 99.99 %

Cr

x

x

99.8- 99.98 %

Co

x

 

99.8 %

Cu

x

x

99.9, 99.9999 %

Er

x

 

99.9 %

Ge

x

 

99.5, 99.999 %

Au

x

x

99.99, 99.999 %v

Hf

x

 

99.9 %

Ho

x

 

99.9 %

In

x

x

99.99- 99.9999 %

Ir

x

 

99.95, 99.99 %

Fe

x

 

99.9 %

Mg

x

 

99.9, 99.99 %

Mn

x

 

99.9 %

Mo

x

x

99.95 %

Ni

x

 

99.7, 99.995 %

Nb

x

x

99.95 %

Pd

x

 

99.95 %

Pt

x

 

99.99 %

Re

x

 

99.99 %

Ru

x

 

99.9 %

Sc

x

 

99.9 %

Si

x

x

99.99, 99.9999 %

Ag

x

x

99.9, 99.99 %

Ta

x

x

99.95 %

Tb

x

 

99.9 %

Sn

x

x

99.99, 99.999 %

Ti

x

x

99.7- 99.995 %

W

x

 

99.95 %

V

x

 

99.8 %

Y

x

 

99.9 %

Zn

x

 

99.99 %

Zr

x

 

99.8 %

镀膜材料列表PDF文件

合金

成分

平面靶

旋转靶

纯度

铝 - 铬

(Al)X (Cr)1-Xx

x

99.99 %

 

铝 - 钴

(Al)X (Co)1-X

x

 

99.95 %

铝 - 铜

(Al)X (Cu)1-X

x

x

99.95 %

铝 - 铁

(Al)X (Fe)1-X

x

 

99.99 %

铝 - 硅

(Al)X (Si)1-X

x

x

99.5- 99.95 %

铝 - 硅 - 铜

(Al)X (Si)Y (Cu)Z

x

 

99.5- 99.95 %

铝 - 镁 - 硅

(Al)X (Mg)Y (Si)Z

x

 

99.5- 99.95 %

铝 - 钛

(Al)50 (Ti)50

x

 

99.95 %

铬 - 镍

(Cr)X(Ni)1-X

x

x

99.9 %

铬 - 钴

(Cr)X(Co)1-X

x

 

99.95 %

铬 - 钴 - 镍

(Cr)X (Co)Y (Ni)Z

x

 

99.95 %

钴 - 镍

(Co)X(Ni)1-X

x

 

99.95 %

铁 - 镍

(Fe)19 (Ni)8

x

 

99.9 %

铟 - 锡

(In)X (Sn)1-X

x

x

99.9- 99.995 %

镍 - 钒

(Ni)93 (V)07

x

x

99.5- 99.95 %

钛 - 钨

(Ti)10 (W)90

x

 

99.9, 99.995 %

钛 - 钨

(Ti)15 (W)85

x

 

99.9, 99.995 %

钇 - 钡 - 铜- 氧化物

 

x

 

99.9, 99.995 %

硼化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

硼化铝

AlB2

x

 

99 %

硼化镧

LaB6

x

 

99.5 %

硼化钛

TiB2

x

 

99.5 %

         

碳化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

碳化硼

B4C

x

 

99.5 %

碳化铬

Cr3C2

x

 

99.5 %

碳化钼

MoC

x

 

99.5 %

碳化铌

NbC

x

 

99.5 %

碳化硅

SiC

x

 

99.5, 99.9 %

碳化钽

TaC

x

 

99.5 %

碳化钛

TiC

x

 

99.5 %

碳化钨

WC

x

 

99.5 %

碳化钒

VC

x

 

99.5 %

碳化锆

ZrC

x

 

99.5 %

氮化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

氮化铝

AlN

x

 

99, 99.8 %

氮化硼

BN

x

 

97.5, 99.9 %

氮化铪

HfN

x

 

99.5 %

氮化硅

Si3N4

x

 

98, 99.9 %

氮化钽

TaN

x

 

99.5 %

氮化钛

TiN

x

 

99.5 %

氮化钒

VN

x

 

99.5 %

氮化锆

ZrN

x

 

99.5 %

         

氧化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

氧化铝

Al2O3

x

 

99.99 %

氧化锑

Sb2O3

x

 

99.99 %

钛酸钡

BaTiO3

x

 

99.9 %

氧化铋

Bi2O3

x

 

99.9 %

钛酸钡

Bi4TiO3

x

 

99.9 %

氧化铈

CeO2

x

 

99.99 %

氧化镓

Ga2O3

x

 

99.99- 99.999 %

氧化铪

HfO2

x

 

99.9 %

氧化铟

In2O3

x

 

99.95- 99.999 %

氧化铟锡

(In2O3)X (SnO2)1-X

x

x

99.95- 99.999 %

氧化铁

Fe2O3, Fe2O4

x

 

99.5- 99.9 %

氧化镁

MgO

x

 

99.5- 99.95 %

氧化铌

Nb2O5

x

x

99.5- 99.95 %

氧化硅

SiO2

x

 

99.9- 99.999 %

钛酸锶

SrTiO3

x

 

99.9 %

五氧化二钽

Ta2O5

x

 

99.95 %

氧化钽

TiO2

x

x

99.5- 99.95 %

氧化锡

SnO2

x

 

99.9, 99.99 %

氧化锡锑

SnO2 - Sb2O3

x

 

99.99 %

氧化锌

ZnO

x

x

99.9 %

氧化锆

ZrO2

x

 

99.7 %

硅化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

硅化铝

AlSi2

x

 

99.5 %

硅化铬

CrSi2, Cr3Si

x

 

99.5 %

硅化钼

MoSi2

x

 

99.5 %

硅化钽

TaSi2, TaSi3

x

 

99.5 %

硫化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

硫化铟

In2S3

x

 

99.9, 99.99%

硫化钼

MoS2

x

 

99.9 %

硫化锌

ZnS

x

 

99.9 %

碲化物

成分

平面靶

旋转靶

纯度

三碲化二锑

Sb2Te3

x

 

99.5- 99.99 %

碲化铋

Bi2Te3

x

 

99.5- 99.99 %

碲化锰

MnTe

x

 

99.5- 99.99 %

碲锌镉

ZnTe

x

 

99.5- 99.99 %