绑定服务

溅射靶材绑定

我们运用多种不同方法

FHR拥有超过25年溅射靶材绑定经验。绑定是通过粘结材料将溅射靶材料与散热板或背板粘结起来的技术。我们运用目前四种绑定技术,实现了完整范围溅射靶材自行绑定能力:金属绑定、橡胶绑定、环氧树脂绑定和纳米绑定。

由于机械性能、低热导率、不同区域的成分或材料造价等原因的限制,某些材料仅能在限定条件下进行溅射工艺或者完全不能被用作溅射工艺,而借助绑定技术将其粘结到背板或散热板上,材料溅射便成为可能。

联系靶材材料

Marian Böhling
溅射靶材 & 镀膜服务主管

+49 35205 520-317 marian.boehling[at]fhr.de target[at]fhr.de