橡胶绑定

橡胶材料绑定

橡胶作为绑定材料,能通过加入特定的添加剂实现所需电导率。焊接工艺能够在常温下实现,从而避免在后续靶材组装过程中,由于热膨胀系数不同,导致靶材和背板在高温下产生机械应力。绑定方法适于溅射靶材装配作业,过程中会经受强烈机械应力。

橡胶绑定特性

  • 橡胶良好的延展性能够抵消机械应力
  • 热导率较低/极低
  • 可通过添加剂调整电导率 – 从绝缘到高导电

镀膜材料

所有材质、尺寸和形状,可选绑定方式