纳米绑定

溅射靶材装配在常温下通过纳米反应薄膜粘结。该工艺保障了热膨胀系数相差极大的材料间能够在靶材粘结装配过程中不产生任何应力，而过程中仍可使用低熔点的金属和合金作为焊料。典型地，使用纯锡 (Ts = 237 °C) 用于实现绑定工艺的热稳定性。