金属绑定

根据对溅射靶材热稳定性和机械稳定性的不同要求，人们将多种低熔点金属和合金用作焊接材料。

FHR主要用纯铟作为焊料 (Ts = 156°C)。我们自主知识产权的绑定工艺保障了高电导率和热导率的实现，以及背板/散热板与溅射靶材的稳固贴合。该工艺也能够保护靶材料，避免焊料向其扩散，防止其被污染。