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我们的系统确保您的成功

真空镀膜系统

您是否在寻找适合您项目的最佳真空镀膜解决方案
我们的系统是您的理想选择。

我们的系统为您提供

久经考验的镀膜解决方案

薄型和超薄型功能镀膜在沉积过程中必须满足最高要求。我们通过久经考验的系统为您提供可靠的涂层解决方案。

我们的产品组合既包括久经考验的模块化镀膜系统,也包括根据您的个性化需求量身定制的特殊系统--30 多年来,我们一直是您的真空镀膜系统专家。

我们的真空镀膜系统

FHR产品系列一览

用于干涉光学应用的精密溅射镀膜系统

FHR.STAR-EOSS®-产品系列

用于开发和生产精密光学仪器的薄膜镀膜系统

采用 PVD 和等离子 CVD 技术的在线式真空镀膜系统

FHR.LINE-产品系列

用于平板、晶圆和磁盘的薄膜镀膜系统,适用于研发,中试或大批量系列生产。

自由配置的团簇式系统

FHR.STAR-产品系列

用于处理各种基底的薄膜镀膜系统——如板、盘、晶片或高度精细的应用,如针头或针脚。

用于柔性基材的溅射、气相沉积和 PECVD 系统

FHR.ROLL-产品系列

用于为研发、中试或大批量生产的平板、晶片、硅片进行喷涂的薄膜镀膜系统。

采用特殊滚筒概念的磁控溅射系统,适用于小型基材

FHR.BOXX-产品系列

用于为研发和生产所需的板材、磁盘、晶片、针脚和针头进行喷涂的薄膜镀膜系统。

寻找溅射靶材吗


用于干涉光学应用的精密溅射镀膜系统

我们是您的专家

您身边的最佳合作伙伴

共同打造未来 - 通过FHR可靠和高品质的涂层解决方案:

  1. 行业领先的质量:我们的真空镀膜系统旨在实现最高的精度和耐用性。 
  2. 定制化的解决方案:我们为您的镀膜项目提供个性化解决方案,满足您的特定需求。
  3. 创新的方法和技术:凭借我们多年的真空镀膜经验和专业知识,我们设定了新的行业标准。
  4. 专业的客户服务:我们经验丰富的团队随时为您答疑解惑,为您的项目提供支持。

了解我们真空镀膜技术的各种可能性,并将 FHR 作为您可靠的合作伙伴,为您提供出色的镀膜解决方案。联系我们,了解更多信息,共同实现您的项目。

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您想进一步了解我们的真空镀膜设备吗?我们的产品管理总监 Sven Häberlein 将竭诚为您服务。请致电我们或给我们写信。