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抗磨损硬质保护涂层
工具或部件的功能性涂层用于增强粘合力、减少摩擦或防止磨损。可通过PVD和CVD工艺沉积的硬质涂层包括金属氮化物、碳化物或非晶碳涂层(DLC)。摩擦学涂层在机械工程、航空航天及汽车行业中不可或缺,它们能延长部件的使用寿命并提高效率。
三维组件几何特殊的反应溅射系统可从...获得 FHR Anlagenbau
典型的硬质涂层
- 氮化钛 (TiN)
- 氧氮化钛 (TiOxNx)
- 铝氮化钛 (TiAlN)
- 氮化铬 (CrN)
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用于干涉光学应用的精密溅射镀膜系统
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