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用于柔性基材的溅射、气相沉积和 PECVD 系统

FHR.ROLL-产品系列

    用于为研发、中试或大批量生产的柔性基材进行喷涂的薄膜镀膜系统。 

  1. 用于涂覆塑料和金属薄膜
  2. 柔性基板宽度可达1.90米
  3. 带或不带气闸系统
  4. 带或不带前辊触点

  1. 们的辊对辊式概念柔性电子产品
  2. 柔性印刷电路板
  3. 柔性传感器技术
  4. 热绝缘薄膜
  5. 显示膜
  6. 薄膜或超薄玻璃上的 OLED
  7. 太阳能薄膜电池
  8. 薄膜电池
  9. 金属双极板
  10. 以及许多其他应用

现代电子产品是柔性的。例如,为了生产柔性太阳能电池、有机显示膜或柔性传感器,我们提供了适合的系统概念,即采用PVD和PECVD技术的卷对卷式真空镀膜系统。

可使用金属和塑料薄膜作为基底材料;涂层宽度各不相同。该系统的设计理念为溅射和气相沉积工艺领域提供了最大的灵活性。可自由编程的皮带传动和基材温度控制可在宽广的工艺窗口内处理不同的基质材料和薄膜厚度。

我们还拥有整合原位测量技术和衍生的在线式工艺控制的专业知识。

根据客户的具体要求,我们的卷对卷式系统可采用以下技术:

通过 FHR.Roll 产品系列中的系统,我们的客户获得了集多种功能和优点于一身的高品质镀膜机:

  1. 久经考验的可靠系统概念
  2. 同样适用于研究和生产
  3. 使用 FHR 自带的软件程序进行高度灵活的系统控制
  4. 如果需要,无需正面触摸(AVOtouch 技术) 
  5. 具有有吸引力的投资和运营成本
  6. 优异的靶材产量
  7. 快速简便的靶材更换
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