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自由配置的团簇式系统

FHR.STAR-产品系列

    薄膜镀膜系统可处理各种基材,如平板、圆盘、晶片或高度精细的应用,如针头或针脚。无论是层沉积、预处理还是后处理:通过 STAR 系列的可组合模块,可以完成研发、试生产或中小批量生产中的各种任务。

  1. 久经考验的灵活模块化概念,配有中央传送臂处理装置
  2. 多样化的技术工艺
  3. 作为单一基材或在载具中处理
  4. 手动装载或从料仓自动处理
  5. 可连接无尘室

  1. 微电子
  2. 印刷电路板
  3. 传感器
  4. 显示器
  5. OLED
  6. 太阳能薄膜电池
  7. 薄膜电池
  8. 滤光片
  9. 以及许多其他应用

先进的模块化系统具有多种变化选项,单个模块的配置具有最大的灵活性,通过我们深度的公式编辑器可提供多种干预选项:FHR.Star 产品系列中的真空处理系统具有这些特点和许多其他特点,是尖端研究领域研发应用的首选。

此外,由于其严格的设计符合标准晶片的要求,FHR.Star系统非常适用于解决微电子和半导体行业的任务。

选择权在您手中:通过我们的 FHR.Star 产品系列,我们可以利用以前实施过的各种系统,为您编制一个合适的系统。或者, 我们也可以与您合作开发您自己的定制配置.

以下技术可用于我们的FHR.Star系统:

  1. 等离子刻蚀/预清洗
  2. 磁控溅射
  3. 热蒸发
  4. 电子束蒸发 (或称为“E-Beam蒸发”)
  5. 原子层沉积(ALD和SALD)
  6. 热处理

我们很乐意与您就不同的工艺躬身讨论!

通过 FHR.Star 产品系列中的系统,我们的客户获得了集质量、可变性和可靠性于一身的高品质镀膜系统。

  1. 模块化系统概念带来最大灵活性
  2. 根据客户要求定制配置
  3. 通过可变布置有效利用空间
  4. 可调节的靶材-基材距离
  5. 快速简便的靶材更换
  6. 适用于典型晶圆尺寸的基材
  7. 全自动过程控制
  8. 具有有吸引力的投资和运营成本
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