我们为您提供的镀膜服务
迈向新产品的第一步
您在寻找合适的镀膜工艺吗？您想先在样品上测试薄膜系统，以获得认证？贵公司是否在进行小批量生产，并在寻找服务提供商为您的产品提供合适的镀膜？
无论是单个晶圆还是小批量： 请咨询我们--我们的应用实验室可为您提供内部镀膜系统的生产能力，还有经验丰富的专家随时为您提供帮助和建议。
现场系统
我们的应用实验室
我们的应用实验室拥有各种类型的系统。在镀膜方面，合适的系统取决于基材的类型和尺寸以及所需的分离技术。这些系统的建造、服务和自动化都直接在公司内部进行，如有需要，还可根据客户要求进行定制。请随时与我们联系。我们还可以直接在 FHR 的应用实验室为您测试新开发的靶材。
垂直式在线溅射系统
FHR.LINE.400-V
- 基材尺寸：360 x 400 mm
- 等离子蚀刻
- 工艺：溅射（直流，中频，射频）
- 材料：陶瓷，晶圆，聚合物，金属，玻璃
从简单的金属镀膜到功能性 AR 镀膜，我们在图案镀膜领域无所不能。
水平式在线溅射系统
2 x FHR.Line.600-H
- 基材尺寸：300 x 300 mm，500 x 500 mm
- 等离子蚀刻
- 工艺：溅射（直流，中频，射频）
- 材料：陶瓷，晶圆，聚合物，金属，玻璃
主要应用领域是传感器生产。
水平式在线溅射系统
FHR.Line.2500-H
- 基材尺寸：2200 x 1400 mm
- 等离子预处理
- 工艺：溅射（直流)
- 材料：陶瓷，晶圆，聚合物，金属，玻璃
FHR.Line.2500-H主要用于大型基材和较大数量的处理。
团簇式系统
FHR.Star.300-ALD
- 基板尺寸：直径 300 毫米
- 工艺：热ALD 和等离子ALD
- 材料：陶瓷、晶圆、聚合物、金属、玻璃
此类系统的应用领域众多。它能够应用防湿氧层、防腐蚀层或绝缘、导电和透明的光学层。这些应用于能源技术（例如，光伏、燃料电池）、医疗技术以及电子行业（例如，显示应用和传感器）和照明技术（例如，OLEDs）领域。
团簇式系统
FHR.Star.500-EOSS®
- 基板尺寸：直径 200 毫米
- 工艺：元模式溅射
- 材料：氧化物 & 氮化物
我们的 FHR.Star-EOSS® 产品系列中的系统是根据客户对精密溅射系统的要求而设计的，用于在主要为平面的基底上沉积光学多层膜，以满足对膜层质量和膜层厚度均匀性的最高要求。我们的精密溅射系统适用于沉积干涉光学镀膜系统，以生产介质镜和光学滤波片，如带通滤光片或陷波滤光片。
