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项目示例

精密光学滤光片

用于干涉光学应用的精密溅射镀膜系统

应用

许多现代测量方法和大部分的通讯技术都基于光学过程。

光学滤光片必须从光束中移除个别波长(陷波滤光片),只允许定义的波长通过(带通滤光片),或者从某个波长切换从反射到透射(边缘滤光片)。

由高折射率和低折射率交替出现的薄介质层组成的干涉光学叠层可用作滤光片。

对系统的要求

该系统将用于在直径达 200 毫米的平面基板上生产滤光片。作为精密滤光片,它们的透射光谱应具有特别高的再现性、特别陡的边缘和特别低的散射。这在技术上意味着 必须沉积 50 层、100 层或更多层的叠层,每一层的厚度必须精确地粘附(并沉积在)整个基板上,偏差应小于 +/- 1%。应避免出现与光学相关的颗粒。另一项要求是:系统必须全自动处理配方,并实现高产能。

解决需求

FHR.Star.500-EOSS® 是与Fraunhofer表面工程和薄膜研究所联合设计共同研发的增强型光学溅射系统 (EOSS®) 的进一步发展。它是目前市场上生产干涉滤光片的最先进产品。

FHR.Star.500-EOSS®的特点

  1. 出色的再现性
  2. 采用向上溅射工艺以最小化颗粒
  3. 通过双极受控双源实现最佳层生长
  4. 通过使用管式阴极实现最高的材料利用率和最长的靶材使用寿命
  5. 使用 MOCCA+® 进行宽带监控和原位误差补偿,实现了最佳的镀膜质量
  6. 毫不妥协的面向生产过程的设计
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