Unsere Herkunft
Innovatoren der ersten Stunde in der Dünnschichttechnologie
Pioniere der Dünnschichttechnik in Dresden
Innovationsfreude, Erfahrung und Mut zur Veränderung sind Treiber jeder neuen Technologie. Mit Gründung der FHR Anlagenbau GmbH waren es Dr. Reinhard Fendler („F“), Wolfgang Hentsch („H“) und Christian Ränsch („R“), die ihre Synergien in ihren jeweiligen Fachbereichen Elektrotechnik, Physik und Maschinenbau sowie die jahrelange Erfahrung im Bereich der Dünnschichttechnologie zu einer gemeinsamen Vision zusammenführten: innovative, funktionale Schichten in maßgeschneiderten Anlagenkonzepten umzusetzen.
Als Pioniere der Branche haben wir begonnen – heute sind wir The Thin Film Company
Bereits in den 1980er Jahren waren die späteren Gründer unseres Unternehmens an innovativen Industrieprojekten zum Einsatz von
Beschichtungs- und Ätztechnologien in der Mikroelektronik beteiligt. Gemeinsam setzten sie verschiedenste Projekte um und trieben die Entwicklung der Dünnschichttechnologie mehr als 20 Jahre lang maßgeblich voran.
Zuvor brauchte es etwa 120 Jahre, bis nach der Entdeckung des Phänomens „Elektrodenzerstäubung“ (engl.: „Sputtering“) durch William Robert Grove im Jahr 1852 in Dresden die ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut wurden. Die Technologie revolutionierte in den 1960er und 1970er Jahren die Halbleiterindustrie. Sie wurde vor allem in Dresden stark vorangetrieben und legte damit den Grundstein für die heutige Entwicklung der Region zu einem der wichtigsten Industriestandorte in der Mikroelektronik.
Unsere Geschichte – vom VEB Elektromat zum internationalen Hightech-Unternehmen
2020
FHR wird 100-prozentige Tochtergesellschaft der Vital-Gruppe
2018
Weiterführung der Forschungszusammenarbeit mit SERIS auf dem Gebiet hochwertiger TCO- und Kontaktschichten
2017
Großauftrag der Manz AG zur Lieferung von Inline-Beschichtungstechnik für CIGS-Solarmodulfabriken
2017
Auslieferung der Präzisionsbeschichtungsanlage FHR.Star.600-EOSS für optische Großsubstrate, Prismen und Linsen
2015
Lieferung von vier vertikalen Inline-Beschichtungsanlagen für metallische und dielektrische Schichten mit vollautomatischer robotergesteuerter Be- und Entstückung
2015
Lieferung eines 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersystems für optisch transparente Folien (Low-E-Beschichtung)
2013
Auslieferung der 3. Anlagengeneration zur Vakuumbeschichtung solarthermischer Absorberrohre für CSP-Kraftwerke
2012
Lieferung mehrerer 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersysteme und 800-mm-Rolle-zu-Rolle-Bedampfungssysteme für die Produktion flexibler Solarzellen auf CIGS-Basis
2011
Lieferung der EOSS®-Sputteranlage für präzisionsoptische Anwendungen an das Fraunhofer IST
2011
Lieferung der weltweit ersten Produktionsanlage zur Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung für 300 mm breite organische Solarzellen an die Firma Heliatek
2009
Einweihung des neuen Bürokomplexes und zwei weiterer Fertigungshallen in Ottendorf-Okrilla
2008
Beginn der Lieferung von Großflächen-Glasbeschichtungsanlagen für die Photovoltaik-Industrie
2008
FHR wird eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG
2007
Bau und Lieferung der ersten CVD-Prozessanlagen zur Atomlagenabscheidung (ALD) auf 300-mm-Wafern
2003
Entwicklung neuartiger Rolle-zu-Rolle-Systemlösungen zur Folienbeschichtung
2000
Inbetriebnahme des Neubaus am Standort Ottendorf-Okrilla
1997
Erstzertifizierung nach DIN EN ISO 9001
1996
Bau und Lieferung der ersten RIE-Plasmaätzanlagen für F&E-Anwendungen
1996
Beginn der strategischen Zusammenarbeit mit führenden Industriekunden zur Entwicklung komplexer Anlagensysteme
1994
Ausbau und Erweiterung der Fertigung und Bondtechnologie für Großsputtertargets
1993
Umzug des Firmensitzes von Dresden nach Ottendorf-Okrilla
1992
Entwicklung neuartiger Cluster- und Inline-Systemlösungen zur Vakuumbeschichtung
1991
Gründung der Firma FHR Anlagenbau GmbH im wiedervereinigten Deutschland durch drei Ingenieure des vormaligen VEB Elektromat in Dresden
1980
Zusammenlegung des VEB Elektromat Dresden und des Instituts für Mikroelektronik Dresden zum VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik (ZFMT)
1975
Entwicklung und Bau der ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen in Dresden
1961
Gründung des VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technologischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen
1852
Beobachtung des Phänomens der Elektrodenzerstäubung durch William R. Grove
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