Die Geschichte der FHR

Emporgewachsen mit der Dünnschichttechnik in Dresden

Als in Dresden die ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut wurden, lag die Entdeckung des Phänomens „Elektrodenzerstäubung“ (sputtering) bereits mehr als hundert Jahre zurück (William Robert Grove, 1852). Doch erst in den 1970er Jahren waren geeignete Vakuumpumpen erfunden, und es wurde erkannt, dass die Sputterabscheidung eine vorteilhafte Alternative zum thermischen Bedampfen bot, das bis dato dominierte. Vor al­lem für die Mi­kro­elek­tro­nik wur­de in Dres­den die Ent­wick­lung von Va­ku­um­an­la­gen zur Sput­ter­ab­schei­dung vor­an­ge­trie­ben – und be­reits 1961 der VEB Elek­tro­mat Dres­den als Lie­fe­rant von tech­ni­schen Aus­rüs­tun­gen für die Pro­duk­ti­on von Halb­lei­ter­bau­ele­men­ten ge­grün­det. 1975 wur­den in Dres­den die ers­ten Sput­ter­an­la­gen für in­dus­trie­na­he Va­ku­um­be­schich­tun­gen ent­wi­ckelt und ge­baut. Schon in den 1980er Jahren waren die späteren Gründer unseres Unternehmens an innovativen Industrieprojekten zum Einsatz von Beschichtungs- und Ätztechnologien in der Mikroelektronik beteiligt. 1991 wurde die FHR Anlagenbau GmbH gegründet.

FHR wird 100%ige Tochtergesellschaft der Vital-Gruppe

Weiterführung der Forschungszusammenarbeit mit SERIS auf dem Gebiet hochwertiger TCO- und Kontaktschichten

Großauftrag der Manz AG zur Lieferung von Inline-Beschichtungstechnik für CIGS-Solarmodulfabriken

Auslieferung der Präzisionsbeschichtungsanlage FHR.Star.600-EOSS für optische Großsubstrate, Prismen und Linsen

Lieferung von vier vertikalen Inline-Beschichtungsanlagen für metalische und dielektrische Schichten mit vollautomatischer robotergesteuerter Be- und Entstückung

Lieferung eines 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersystems für optisch transparente Folien (Low-E-Beschichtung)

Auslieferung der 3. Anlagengeneration zur Vakuumbeschichtung solarthermischer Absorberrohre für CSP-Kraftwerke

Lieferung mehrerer 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersysteme und 800-mm-Rolle-zu-Rolle-Bedampfungssysteme für die Produktion flexibler Solarzellen auf CIGS-Basis

Lieferung der EOSS®-Sputteranlage für präzisionsoptische Anwendungen an das Fraunhofer IST

Lieferung der weltweit ersten Produktionsanlage zur Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung für 300 mm breite organische Solarzellen an die Firma Heliatek

Einweihung des neuen Bürokomplexes und zwei weiterer Fertigungshallen in Ottendorf-Okrilla

Beginn der Lieferung von Großflächen-Glasbeschichtungsanlagen für die Photovoltaik-Industrie

FHR wird eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG

Bau und Lieferung der ersten CVD-Prozessanlagen zur Atomlagenabscheidung (ALD) auf 300-mm-Wafern

Entwicklung neuartiger Rolle-zu-Rolle-Systemlösungen zur Folienbeschichtung

Inbetriebnahme des Neubaus am Standort Ottendorf-Okrilla

Erstzertifizierung nach DIN EN ISO 9001

Bau und Lieferung der ersten RIE-Plasmaätzanlagen für F&E-Anwendungen

Beginn der strategischen Zusammenarbeit mit führenden Industriekunden zur Entwicklung komplexer Anlagensysteme

Ausbau und Erweiterung der Fertigung und Bondtechnologie für Großsputtertargets

Umzug des Firmensitzes von Dresden nach Ottendorf-Okrilla

Entwicklung neuartiger Cluster- und Inline-Systemlösungen zur Vakuumbeschichtung

Gründung der Firma FHR Anlagenbau GmbH im wiedervereinigten Deutschland durch drei Ingenieure des vormaligen VEB Elektromat in Dresden

Zusammenlegung des VEB Elektromat Dresden und des Instituts für Mikroelektronik Dresden zum VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik (ZFMT)

Entwicklung und Bau der ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen in Dresden

Gründung des VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technologischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen

Beobachtung des Phänomens der Elektrodenzerstäubung durch William R. Grove

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