Die Geschichte der FHR

Als in Dresden die ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut wurden, lag die Entdeckung des Phänomens „Elektrodenzerstäubung“ (sputtering) bereits mehr als hundert Jahre zurück (William Robert Grove, 1852). Doch erst in den 1970er Jahren waren geeignete Vakuumpumpen erfunden, und es wurde erkannt, dass die Sputterabscheidung eine vorteilhafte Alternative zum thermischen Bedampfen bot, das bis dato dominierte. Vor al­lem für die Mi­kro­elek­tro­nik wur­de in Dres­den die Ent­wick­lung von Va­ku­um­an­la­gen zur Sput­ter­ab­schei­dung vor­an­ge­trie­ben – und be­reits 1961 der VEB Elek­tro­mat Dres­den als Lie­fe­rant von tech­ni­schen Aus­rüs­tun­gen für die Pro­duk­ti­on von Halb­lei­ter­bau­ele­men­ten ge­grün­det. 1975 wur­den in Dres­den die ers­ten Sput­ter­an­la­gen für in­dus­trie­na­he Va­ku­um­be­schich­tun­gen ent­wi­ckelt und ge­baut. Schon in den 1980er Jahren waren die späteren Gründer unseres Unternehmens an innovativen Industrieprojekten zum Einsatz von Beschichtungs- und Ätztechnologien in der Mikroelektronik beteiligt. 1991 wurde die FHR Anlagenbau GmbH gegründet.