Emporgewachsen mit der Dünnschichttechnik in Dresden
Als in Dresden die ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut wurden, lag die Entdeckung des Phänomens „Elektrodenzerstäubung“ (sputtering) bereits mehr als hundert Jahre zurück (William Robert Grove, 1852). Doch erst in den 1970er Jahren waren geeignete Vakuumpumpen erfunden, und es wurde erkannt, dass die Sputterabscheidung eine vorteilhafte Alternative zum thermischen Bedampfen bot, das bis dato dominierte. Vor allem für die Mikroelektronik wurde in Dresden die Entwicklung von Vakuumanlagen zur Sputterabscheidung vorangetrieben – und bereits 1961 der VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen gegründet. 1975 wurden in Dresden die ersten Sputteranlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut. Schon in den 1980er Jahren waren die späteren Gründer unseres Unternehmens an innovativen Industrieprojekten zum Einsatz von Beschichtungs- und Ätztechnologien in der Mikroelektronik beteiligt. 1991 wurde die FHR Anlagenbau GmbH gegründet.
