Emporgewachsen mit der Dünnschichttechnik in Dresden
Als in Dresden die ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut wurden, lag die Entdeckung des Phänomens „Elektrodenzerstäubung“ (sputtering) bereits mehr als hundert Jahre zurück (William Robert Grove, 1852). Doch erst in den 1970er Jahren waren geeignete Vakuumpumpen erfunden, und es wurde erkannt, dass die Sputterabscheidung eine vorteilhafte Alternative zum thermischen Bedampfen bot, das bis dato dominierte. Vor allem für die Mikroelektronik wurde in Dresden die Entwicklung von Vakuumanlagen zur Sputterabscheidung vorangetrieben – und bereits 1961 der VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen gegründet. 1975 wurden in Dresden die ersten Sputteranlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen entwickelt und gebaut. Schon in den 1980er Jahren waren die späteren Gründer unseres Unternehmens an innovativen Industrieprojekten zum Einsatz von Beschichtungs- und Ätztechnologien in der Mikroelektronik beteiligt. 1991 wurde die FHR Anlagenbau GmbH gegründet.

Großauftrag der Manz AG zur Lieferung von Inline-Beschichtungstechnik für CIGS-Solarmodulfabriken
Auslieferung der Präzisionsbeschichtungsanlage FHR.Star.600-EOSS für optische Großsubstrate, Prismen und Linsen
Lieferung von vier vertikalen Inline-Beschichtungsanlagen für metalische und dielektrische Schichten mit vollautomatischer robotergesteuerter Be- und Entstückung
Lieferung eines 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersystems für optisch transparente Folien (Low-E-Beschichtung)
Auslieferung der 3. Anlagengeneration zur Vakuumbeschichtung solarthermischer Absorberrohre für CSP-Kraftwerke
Lieferung mehrerer 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersysteme und 800-mm-Rolle-zu-Rolle-Bedampfungssysteme für die Produktion flexibler Solarzellen auf CIGS-Basis
Lieferung der EOSS®-Sputteranlage für präzisionsoptische Anwendungen an das Fraunhofer IST
Lieferung der weltweit ersten Produktionsanlage zur Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung für 300 mm breite organische Solarzellen an die Firma Heliatek
Einweihung des neuen Bürokomplexes und zwei weiterer Fertigungshallen in Ottendorf-Okrilla
Beginn der Lieferung von Großflächen-Glasbeschichtungsanlagen für die Photovoltaik-Industrie
FHR wird eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG
Bau und Lieferung der ersten CVD-Prozessanlagen zur Atomlagenabscheidung (ALD) auf 300-mm-Wafern
Entwicklung neuartiger Rolle-zu-Rolle-Systemlösungen zur Folienbeschichtung
Inbetriebnahme des Neubaus am Standort Ottendorf-Okrilla
Erstzertifizierung nach DIN EN ISO 9001
Bau und Lieferung der ersten RIE-Plasmaätzanlagen für F&E-Anwendungen
Beginn der strategischen Zusammenarbeit mit führenden Industriekunden zur Entwicklung komplexer Anlagensysteme
Ausbau und Erweiterung der Fertigung und Bondtechnologie für Großsputtertargets
Umzug des Firmensitzes von Dresden nach Ottendorf-Okrilla
Entwicklung neuartiger Cluster- und Inline-Systemlösungen zur Vakuumbeschichtung
Gründung der Firma FHR Anlagenbau GmbH im wiedervereinigten Deutschland durch drei Ingenieure des vormaligen VEB Elektromat in Dresden
Zusammenlegung des VEB Elektromat Dresden und des Instituts für Mikroelektronik Dresden zum VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik (ZFMT)
Entwicklung und Bau der ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen in Dresden
Gründung des VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technologischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen
Beobachtung des Phänomens der Elektrodenzerstäubung durch William R. Grove
Im September 2016 feierten wir unser 25-jähriges Firmenjubiläum

FHR-Mitarbeiter mit Partnern sowie langjährige Geschäftspartner & Freunde zusammen im Ballsaal des Quality Plaza Hotels in Dresden

Die beiden Geschäftsführer Torsten Winkler & Dr. Fendler (†) beim Anschneiden der Geburtstagstorte

Standard- und Lateintänze als abwechslungsreiche Untermalung unseres Festes

Ein wunderbarer Abend geht zu Ende