FHR.LINE-Produktreihe

1. Elektronik
2. Leiterplatten
3. Sensorik
4. Display
5. OLED
6. Dünnschichtsolarzellen
7. Dünnschichtbatterien
8. Bipolarplatten
9. Filter
10. Verschleiß- oder Korrosionsschutz
11. Dekorative Beschichtung
12. und vieles mehr

Inline-Konzepte sind die richtige Antwort für hochproduktives Magnetron-Sputtern, thermisches Bedampfen oder PECVD-Beschichten jeglicher flächigen Substrate. Wir bieten individuell auf Ihre Substratgröße zugeschnittene Inline-Vakuumbeschichtungslösungen mit horizontaler oder vertikaler Substratlage.

Eine Substratvorbehandlung durch Heizen oder Ätzen sowie eine vollautomatische Bestückung können von uns kundenspezifisch integriert werden. Als hochproduktive Durchlaufanlagen mit konstantem Produkt, oder als Pendelanlagen mit hoher Flexibilität – dank wechselbarer Targets sind Inline-Anlagen breit einsetzbar.

Die folgenden Technologien können entsprechend den spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Inline-Anlagen implementiert werden:

• Plasmaätzen/-Vorreinigung
• Magnetronsputtern
• Thermisches Bedampfen
• PECVD

Mit den Anlagen der FHR.Line-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.

1. Attraktive Invest- und Betriebskosten
2. Vollautomatisches Be- und Entladen
3. Doppelseitenbeschichtung möglich
4. Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
5. Reduzierter Aufwand bei Modifikation oder Erweiterung durch modularen Aufbau
6. Geschlossener sekundärer Kühlkreislauf möglich
7. Vollautomatische Prozesskontrolle
8. Hohe Produktivität