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Projektbeispiel

Dünnschicht­sen­soren Cluster

Flexibles Beschich­tungs­system zur Herstellung diverser Sensoren

APPLIKATION

Selbstfahrende Autos werden Realität, Smartphones verwandeln Laien in Messgeräteexperten und Hobby-Tüftler erschaffen mit Mini-Computern automatisierte Systeme für Zimmerpflanzen. Heutzutage ist komplexe Automatisierung kostengünstig und allgegenwärtig. Dafür unverzichtbar: eine Vielzahl an Sensoren. Sie erfassen Daten wie Temperatur, Abstand, Druck, Kraft, Luftfeuchte, pH-Wert, Gas-Konzentration und mehr, um aus theoretischen Simulationen praktische Alltagshelfer zu machen.

ANFORDERUNGEN AN DIE ANLAGE

Mit der Anlage sol­len Sen­so­ren pro­du­ziert wer­den, d. h. Lei­ter­bah­nen, Kon­den­sa­to­ren, Wider­stände, pie­zo­re­sis­tive Schich­ten usw. wer­den auf 200 mm Wafern abge­schie­den. Diese dün­nen Schich­ten aus Metal­len, Oxi­den oder Nitri­den müs­sen über den gan­zen Wafer hin­weg mit einer Schicht­di­cken­ab­wei­chung von weni­ger als +/- ​3 % auf­ge­bracht wer­den und müs­sen gut auf dem Unter­grund sowie auf­ein­an­der haf­ten. Die Anlage muss zum SEMI-Stan­dard kom­pa­ti­bel sein, damit vor- und nach­ge­la­gerte Pro­zesse aus der Halb­lei­ter­in­dus­trie (z. B. zur Struk­tu­rie­rung) ein­ge­setzt wer­den kön­nen. Über­dies muss die Anlage natür­lich voll­au­to­ma­ti­siert Rezepte für ver­schie­dene Sen­so­ren fah­ren kön­nen und ohne äuße­res Zutun ein gan­zes Los von Sub­stra­ten am Stück beschich­ten. Schließ­lich muss die Anlage fle­xi­bel und in der Zukunft erwei­ter­bar sein, um auch kleine Lose spe­zi­el­ler Sen­so­ren dar­auf her­stel­len oder neue Tech­no­lo­gien zur Sen­sor­her­stel­lung (z. B. Atom­la­gen­ab­schei­dung) nach­träg­lich inte­grie­ren zu kön­nen.

LÖSUNG DER ANFORDERUNGEN

Die FHR.Star.300 ist eine zum SEMI-Stan­dard kom­pa­ti­ble Vaku­um­an­lage. Die zen­trale Kam­mer ist mit einem Robo­ter aus­ge­stat­tet, der die Wafer zwi­schen den rings­herum ange­ord­ne­ten Kam­mern trans­por­tiert. Die Wafer in der Ein­gangs­schleuse wer­den je nach Rezept nach­ein­an­der in den vier Pro­zess­kam­mern vor­be­han­delt bzw. per Sput­tern mit ver­schie­dens­ten Schich­ten ver­se­hen (DC-Sput­tern, gepuls­tes DC-Sput­tern, reak­ti­ves DC-Sput­tern), bevor sie der Robo­ter in der Aus­gangs­schleuse ablegt. Die abge­schie­de­nen Mate­ria­lien kön­nen durch Wahl der Tar­gets geän­dert wer­den. Zwei freie Ports ermög­li­chen die spä­tere Nach­rüs­tung wei­te­rer Pro­zess­kam­mern. Wie bei allen FHR-Anla­gen wird auch hier per Rezept alles auto­ma­ti­siert gesteu­ert und alle Daten zur spä­te­ren Nach­voll­zieh­bar­keit auf­ge­zeich­net.

DIE BESONDERHEITEN DER FHR.Star.300

  1. Vielfältige Sputter- und Ätzverfahren in einer Anlage
  2. Wafergrößen bis 200 mm
  3. Automatisierte Beschichtung mit voller Kontrolle über alle Prozessparameter
  4. Komfortabler Wechsel der 300 mm großen Targets
  5. SEMI-Standard kompatibel
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