Dünnschicht­sen­soren Inline

Die FHR.Line.700-V ist eine kom­pakte Inline-Anlage, bei der der Sub­strat­trä­ger auf­recht ste­hend durch die Anlage fährt. Die Ein- und Aus­gabe der 12 bis 16 gleich­zei­tig zu beschich­ten­den Wafern erfolgt über die­selbe Schleu­sen­kam­mer. Die Schleu­sen­kam­mer ist rund und mit einer Wen­de­vor­rich­tung für den Sub­strat­trä­ger aus­ge­stat­tet, sodass die Wafer auch von der Rück­seite beschich­tet wer­den kön­nen. Die durch­gän­gig eva­ku­ierte Pro­zess­kam­mer beinhal­tet eine Ätzein­heit zur Vor­rei­ni­gung und Akti­vie­rung der Sub­stra­to­ber­flä­che (für bes­sere Haf­tung) sowie zwei pla­nare DC-Sput­ter­quel­len zur Metall­ab­schei­dung. Der Sub­strat­hal­ter fährt gemäß akti­vem Rezept in defi­nier­ter Geschwin­dig­keit und Häu­fig­keit an die­sen Pro­zesssta­tio­nen vor­bei. Für einen kom­for­ta­blen Zugang bei War­tun­gen befin­den sich die Pro­zes­s­ein­hei­ten an gro­ßen Türen. Am Ende der Pro­zess­kam­mer befin­det sich ein gro­ßer Blind­flansch, an den bei Bedarf wei­tere Pro­zess­kam­mern nach­ge­rüs­tet wer­den kön­nen. Wie bei allen FHR-Anla­gen wird auch hier per Rezept alles auto­ma­ti­siert gesteu­ert. Alle Daten werden zur spä­te­ren Nach­voll­zieh­bar­keit auf­ge­zeich­net.