Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische Anwendungen
Unser EOSS-Konzept
Die Anlagen unserer Produktfamilie FHR.Star-EOSS® basieren auf den Kundenforderungen an ein Präzisions-Sputtersystem für die Abscheidung optischer Mehrfachschichten mit höchsten Anforderungen an Schichtqualität und Schichtdickenhomogenität auf überwiegend flachen und ebenen Substraten. Unsere Präzisions-Sputtersysteme eignen sich zur Abscheidung interferenzoptischer Schichtsysteme für die Herstellung dielektrischer Spiegel und optischer Filter wie bspw. Bandpassfilter oder Mehrfach-Kerbfilter (Multi-Notch-Filter).
Bei dem Anlagenkonzept handelt es sich um eine gemeinsame Entwicklung mit dem Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, welches als Enhanced Optical Sputtering System (EOSS®) projektiert wurde. Im Rahmen der Weiterentwicklung wurde besonderer Wert gelegt auf Beschichtungsqualität, Prozessstabilität, Produktivität, Wartungsfreundlichkeit und die Möglichkeit, größere Substrate zu beschichten. Das Schichtwachstum wird dabei in-situ durch ein optisches Breitband-Monitoring überwacht.
Ihre Vorteile auf einen Blick
Mit einer EOSS®-Anlage erwerben Sie das fortschrittlichste Produkt, welches derzeit im Markt für diese Applikation erhältlich ist. Folgendes hat es dem Wettbewerb voraus:
- Höchste Partikelarmut durch Sputter-Up-Verfahren
- Optimales Schichtwachstum durch bipolar angesteuerte Doppelquellen
- Höchste Materialausnutzung und längste Target-Standzeiten durch Verwendung von Rohrkathoden
- Präzise Schichtdicken erzielbar mittels zeitgesteuerter Abscheidung und durch optisches Breitbandmonitoring
- Optional automatische Anlagennachführung zur Korrektur des Schichtdesigns
- Eine kompromisslos auf Produktionsprozesse ausgelegte Konstruktion
- Bis zu vier Beschichtungskompartments nutzbar
- Ein oder zwei Plasmaquellen einsetzbar
- Große Substratträger für universelle Anpassung der Substrataufnahme
- Mehrfacher Prozessdurchlauf möglich
- Einfache und schnelle Wartungszugänglichkeit
- Umfangreiche und komfortabel zu bedienende Softwareoberfläche

Galerie FHR.Star-EOSS-Projekte









