Präzisionsbeschichtungsanlage für das Abscheiden optischer Mehrfachschichten

Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische Anwendungen

Unser EOSS-Konzept

Die Anlagen unserer Produktfamilie FHR.Star-EOSS® basieren auf den Kundenforderungen an ein Präzisions-Sputtersystem für die Abscheidung optischer Mehrfachschichten mit höchsten Anforderungen an Schichtqualität und Schichtdickenhomogenität auf überwiegend flachen und ebenen Substraten. Unsere Präzisions-Sputtersysteme eignen sich zur Abscheidung interferenzoptischer Schichtsysteme für die Herstellung dielektrischer Spiegel und optischer Filter wie bspw. Bandpassfilter oder Mehrfach-Kerbfilter (Multi-Notch-Filter).

Bei dem Anlagenkonzept handelt es sich um eine gemeinsame Entwicklung mit dem Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, welches als Enhanced Optical Sputtering System (EOSS®) projektiert wurde. Im Rahmen der Weiterentwicklung wurde besonderer Wert gelegt auf Beschichtungsqualität, Prozessstabilität, Produktivität, Wartungsfreundlichkeit und die Möglichkeit, größere Substrate zu beschichten. Das Schichtwachstum wird dabei in-situ durch ein optisches Breitband-Monitoring überwacht.

Ihre Vorteile auf einen Blick

Mit einer EOSS®-Anlage erwerben Sie das fortschrittlichste Produkt, welches derzeit im Markt für diese Applikation erhältlich ist. Folgendes hat es dem Wettbewerb voraus:

Höchste Partikelarmut durch Sputter-Up-Verfahren
Optimales Schichtwachstum durch bipolar angesteuerte Doppelquellen
Höchste Materialausnutzung und längste Target-Standzeiten durch Verwendung von Rohrkathoden
Präzise Schichtdicken erzielbar mittels zeitgesteuerter Abscheidung und durch optisches Breitbandmonitoring
Optional automatische Anlagennachführung zur Korrektur des Schichtdesigns
Eine kompromisslos auf Produktionsprozesse ausgelegte Konstruktion
Bis zu vier Beschichtungskompartments nutzbar
Ein oder zwei Plasmaquellen einsetzbar
Große Substratträger für universelle Anpassung der Substrataufnahme
Mehrfacher Prozessdurchlauf möglich
Einfache und schnelle Wartungszugänglichkeit
Umfangreiche und komfortabel zu bedienende Softwareoberfläche