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Beschichtungen der FHR im Detail

Elektronische Schichten

Elektro­nische Schichten mit verschie­denen Eigen­schaften

Elektronische Beschichtungen spielen in den Materialwissenschaften eine zentrale Rolle und haben zahlreichen technologischen Durchbrüchen den Weg geebnet. Sie sind essenziell für die Funktionsweise moderner Halbleitergeräte, Sensoren und Energiespeicherlösungen. 

Ebenso prägen sie die Effizienz von Solarzellen, die Integrität von Leiterplatten und die Leistungsfähigkeit von Displays. Ihre Vielseitigkeit und Relevanz machen sie zu einem unverzichtbaren Bestandteil des Fortschritts in der heutigen Elektronikindustrie.

Erfahren Sie mehr über die Möglichkeiten von elektronischen Schichten.

Was wir bieten:

Elektrisch leitfähige Schichten

Elektrisch leitfähige Überzüge können durch das Auftragen dünner Metallschichten mittels Gleichspannungs-Sputterverfahren im Vakuum (DC-Sputtern) hergestellt werden. Abhängig vom zugrunde liegenden Material und der darunter befindlichen Schicht, sind neben der elektrischen Leitfähigkeit auch die Eigenschaften der Metallschicht in Bezug auf Barriere oder Haftung wichtig.

Leitfähige Schichten in elektrischen Schaltkreisen sind beispielsweise:

  1. Kupfer (Cu)
  2. Silber (Ag)
  3. Gold (Au)
  4. Platin (Pt)
  5. Palladium (Pd)

Zu Barrieremetallen gehören beispielsweise:

  1. Molybdän (Mo)
  2. Nickel (Ni)
  3. Nickel-Vanadium (NiV)

Typische Adhäsionsmetalle sind beispielsweise:

  1. Chrom (Cr)
  2. Nickel-Chrom
  3. Titan (Ti)
  4. Titan-Wolfram (TiW)

Transparente, elektrisch leitfähige Schichten

Transparente, leitfähige Beschichtungen kombinieren einen geringen elektrischen Widerstand mit hoher Lichtdurchlässigkeit. Solche Überzüge können aus transparenten, leitfähigen Oxiden (TCO) oder extrem dünnen Metallschichten bestehen.

Unser Beschichtungsservice bietet Ihnen in unserem Applikationslabor Kapazitäten auf unseren hauseigenen Beschichtungsanlagen und erfahrene Experten, die Ihnen fachkundig zur Seite stehen. Mit unseren Anlagen können wir die geeigneten Sputterverfahren zur Abscheidung von elektrisch leitfähigen Schichten auf Glas-, Silizium- oder Foliensubstraten durchführen.

Beispiele für transparente, leitfähige Oxide (TCO):

  1. Indiumzinnoxid (ITO)
  2. Aluminium-dotiertes Zinkoxid (AZO
  3. )Fluor-dotiertes Zinnoxid (FTO)
  4. Antimon-dotiertes Zinnoxid (ATO)

Ultra-dünne Metallfilme bestehen beispielsweise aus:

  1. Gold (Au)
  2. Silber (Ag)

Beschichtungsservice

In unserem Applikationslabor bieten wir Kapazitäten für Prototyp-Fertigung oder Produktion in Kleinserie auf unseren hauseigenen Beschichtungsanlagen. 
Unsere erfahrenen Experten beraten und unterstützen Sie dabei.

Hochohmige Schichten (Wider­stände)

Der elektrische Widerstand hochohmiger Beschichtungen lässt sich durch geeignete Materialwahl in einem weiten Bereich einstellen, beginnend bei etwa 10 Ohm über 1000 Ohm bis hin in den Mega-Ohm-Bereich.

Leitfähige Schichten in elektrischen Schaltkreisen sind zum Beispiel:

  1. Tantalnitrid (TaN)
  2. Nickelchrom (NiCr)

Beschichtungsmaterial bis 1000 Ohm:

  1. Siliziumchrom (SiCr)
  2. Siliziumchromoxid (SiCrOx)

Beschichtungmaterial bis 1 Mega-Ohm:

  1. Dotiertes Polysilizium

Elektrisch isolierende Schichten (Dielektrika)

Dielektrische Materialien haben keine freien Ladungsträger, weshalb sie in der Regel nicht oder nur wenig elektrisch leitfähig sind. Deshalb werden sie oft als Isolatoren verwendet. Mit bestimmten Techniken, wie HF-Sputtern, gepulstem DC-Sputtern oder reaktivem Sputtern, können sie in dünnen Schichten aufgetragen werden.

Leitfähige Schichten in elektrischen Schaltkreisen sind zum Beispiel:

  1. Aluminiumoxid (Al2O3)
  2. Siliziumoxid (SiO2)
  3. Siliziumnitrid (SiN)

Weitere dielektrische Beschichtungen:

  1. Metalloxide wie Molybdänoxid (MoO2)
  2. Titanoxid (TiO2)
  3. Wolframoxid (WO2)

Umgesetze Projekte mit unseren Anlagen


Von Photovoltaik bis Mikroelektronik, von Architektur bis Werkzeug- und Formenbau – unsere Vakuumbeschichtungsanlagen kommen überall zum Einsatz. Entdecken Sie einige unserer Projektbeispiele.

Weitere Technologien und Beschichtungsverfahren

Wir sind Ihr Spezialist

Der richtige Partner an Ihrer Seite

Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:

  1. Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
  2. Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
  3. Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
  4. Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.

Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren. 

Ihr Ansprechpartner

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