
Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische Anwendungen
FHR.STAR-EOSS®-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zur Entwicklung und Produktion von Präzisionsoptiken

Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-Technologie
FHR.LINE-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion.

Frei konfigurierbare Clusteranlagen
FHR.STAR-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme für das Handling von verschiedensten Substraten, wie Platten, Scheiben, Wafern oder filigranen Applikationen, wie Nadeln oder Stiften.

Sputter-, Bedampfungs- und PECVD-Systeme für biegsame Substrate
FHR.ROLL-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion.

Magnetron-Sputtersysteme mit speziellem Trommelkonzept für kleine Substrate
FHR.BOXX-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, Stiften und Nadeln für F&E sowie Produktion.