Magnetron-Sputtersysteme mit speziellem Trommelkonzept für kleine Substrate
Unsere Boxx-Coater-Konzepte
Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion an. Die auch Boxcoater genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus, die Subtratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer. Als Substratträger fungiert im Rezipienten eine sich drehende Trommel, die gegebenenfalls auch für das Heizen der zumeist kleinflächigen Substrate eingesetzt werden kann. Durch Trommelrotation während des Vakuumprozesses können die zu beschichtenden Substrate an mehreren Prozessstationen vorbeigeführt werden. Durch Einbau einer Subrotation ist sogar das Beschichten von 3D-Substraten wie z. B. Brillengestellen möglich. Insgesamt wird dabei eine gute Schichtdickenhomogenität erreicht. Auch eine Substratvorbehandlung bspw. mittels Plasmaätzen ist möglich.
Kombinierbare Prozesstechnologien
Die folgenden Technologien können entsprechend Ihrer spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Inline-Anlagen implementiert werden.
- Magnetron-Sputtern
- Plasma-Ätzen (PE)
Ihre Vorteile auf einen Blick
Mit den Anlagen der FHR.Boxx-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.
- Mehrer Beschichtungs- und Vorreinigungsstationen
- Herstellung von Schichtsystemen möglich
- Möglichkeit einer Ladeschleuse
- Substrat-Subrotation
- Substratheizung
- Minimierung von Partikeln und Flitter durch spezielle Bauweise
- Einfacher Service durch gute Erreichbarkeit der Bauteile
- Attraktive Invest- und Betriebskosten
- Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
Galerie FHR.Boxx-Projekte
