Einzigartige Lösungen für individuelle Applikationen
Sie haben eine Anwendung – wir haben die passende Anlage.
Gemeinsam entwickeln wir eine Beschichtungslösung nach Ihren Anforderungen.
Sonderanlagen & Serienprodukte
Die Vakuumbeschichtungstechnologie hat sich in den letzten Jahren als Schlüsseltechnologie in zahlreichen Branchen etabliert, sei es in der Halbleiterfertigung, im Optikbereich oder im Bereich Energie. Die FHR Anlagenbau GmbH hat sich auf die Entwicklung und Herstellung von maßgeschneiderten Vakuumbeschichtungsmaschinen im Sonderanlagenbau spezialisiert, um den einzigartigen Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden.
The Thin Film Company – das sind wir, dieses Statement ist Vision und Anspruch zugleich.
FHR – Ihr Experte für Vakuumanlagen
Vision & Anspruch
Wir, das ist ein ca. 200 Menschen umfassendes, international tätiges Team aus Ingenieuren, Mechatronikern, Physikern, Technikern, Chemikern, kaufmännischen Experten und Materialwissenschaftlern. Wir treten gemeinsam dafür an, Ihnen die beste funktionale Beschichtung für Ihren Anwendungsfall zu bieten.
Unsere Unternehmenskultur ist geprägt durch Vertrauen, Innovationsfreude, Verantwortungsbewusstsein und Ehrlichkeit.
In mehr als 30 Jahren sind wir stetig gewachsen. Zu unserer Kundenbasis zählen namhafte Volumenproduzenten, ebenso wie kleine und mittelständische Hidden Champions. Forscher und Entwickler aus Industrie und Lehre bauen bereits in den sehr frühen Entwicklungsphasen ihrer Produkte und Verfahren auf unsere Innovationsfreude und Kompetenz im Bereich funktionaler Beschichtungen. Dabei stellen wir uns regelmäßig neuen Herausforderungen.
Wir sind Ihre Experten
Unsere Leistungen für Sie
Planung & Entwicklung
Von der ersten Idee bis zur fertigen Anlage – wir entwickeln für Sie maßgeschneiderte Vakuumbeschichtungsanlagen.
Automatisierung
Für eine optimale Produktivität müssen alle Komponenten perfekt zusammenarbeiten: Mehr Durchsatz mit integrierter Robotertechnik.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Mit unseren fünf Produktreihen decken wir die verschiedensten Anwendungsgebiete ab. Entdecken Sie unsere Vakuumbeschichtungsanlagen.
Sputtertargets & Bond-Service
Wir entwickeln und fertigen Sputtertargets in Spitzenqualität – inkl. optionalem Bond-Service. Sowohl in Großserie als auch Einzelstücke.
Beschichtungsservice
Ganz gleich ob als Muster oder in Kleinserie: Nutzen Sie unseren hauseigenen Beschichtungsservice.
Kundenservice
Von der technischen Unterstützung über Maschinenumsetzung bis zur Schulung. Entdecken Sie unseren umfassenden Kundenservice.
Vakuumbeschichtungsanlage oder Kundenservice gewünscht?
Egal ob Vakuumbeschichtungsanlage, Sputtertarget, Beschichtungsservice oder technische Unterstützung – unser Team steht für Sie bereit. Fragen Sie jetzt einfach an!
Unser Profil
30 Jahre Sonderanlagenbau
Unsere Wurzeln liegen im Sonderanlagenbau. Die von uns bisher ausgelieferten mehr als 300 Anlagen ermöglichen es uns, auf eine Vielzahl von modularen und in der Praxis erprobten Baugruppen zurückzugreifen. Wir sind einerseits Experten, wenn es darum geht, einzigartige Anforderungen in robuste Produktionsanlagen und Prozesse zu übersetzen. Andererseits entwickeln wir auf Applikationen zugeschnittene Serienanlagen, übernehmen für Sie die Vorserienqualifikation, oder entwickeln gemeinsam mit Ihnen speziell auf Ihre Anforderungen abgestimmte Materialzusammensetzungen der in unseren Anlagen eingesetzten Verbrauchsmaterialien (Targets). Service und Consulting sind für uns selbstverständlich und runden das Portfolio ab.
Mit unseren funktionalen Beschichtungen produzieren unsere Kunden tagtäglich Produkte in vielfältigen Märkten, wie Elektronik, MEMS und Sensortechnik, Präzisions-Optik und Display, Solarthermie und Photovoltaik.
Im Auftrag unserer Kunden entstehen hochgradig flexible Clusteranlagen (FHR.Star, vorwiegend für die Beschichtung von Wafer-basierten Substraten), auf Durchsatz und Standzeit optimierte Durchlaufanlagen (FHR.Line, für das Beschichten von Großflächen), oder auch hausgroße Rolle-zu-Rolle-Anlagen (FHR.Roll für das Beschichten flexibler Substrate wie Metallbänder oder Polymer-Folien).
In unseren Anlagenplattformen kommen Sputter-, Bedampfungs-, PECVD- und ALD-Technologien zum Einsatz. Kombinationen dieser Technologien in einer Anlage ohne Vakuumunterbrechung sind, nicht zuletzt aufgrund der Modularität, selbstverständlich umsetzbar.
Ihr Ansprechpartner
Sie haben Fragen?
Sie wollen mehr zu unseren Vakuumbeschichtungsanlagen wissen? Unser Director of Product Management Sven Häberlein hilft Ihnen gerne weiter. Rufen Sie an oder schreiben Sie uns eine Nachricht.