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BeschichtungsserviceBoxcoaterFHR.Boxx.600-3Dzum Werkzeug- und FormenbauSubstratgröße: 3D-Substrate bis 600 mm hoch oder Durchmesser 500 mmVerfahren: Sputtern (DC, MF, RF)Material: Keramik, Wafer,

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BeschichtungsserviceCluster­anlageFHR.Star.300-ALDzur LichttechnikSubstratgröße: Durchmesser 300 mmVerfahren: Thermal ALDMa­te­ri­al: Ke­ra­mik, Wa­fer, Po­ly­me­re, Me­tal­le, GlasEinsatzschwerp

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BeschichtungsserviceHorizon­tales Inline-Sputter­systemFHR.Line.2500.Hzu Architektur und BauwesenSubstratgröße: 2200 x 1400 mmVerfahren: Sputtern (DC)Material: Keramik, Wafer, Polymere, Metalle, G

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BeschichtungsserviceVerti­kales Inline-Sputter­systemFHR.Line.400.Vzu den DisplayanwendungenSubstratgröße: 360 x 400 mmVerfahren: Sputtern (DC, MF, RF)Material: Keramik, Wafer, Polymere, Metalle,

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BeschichtungsserviceHorizontale Inline-Sputter­systeme2 x FHR.Line.600.Hzur AutomobilindustrieSubstratgröße: 300 x 300 mm, 500 x 500 mmVerfahren: Sputtering (DC, MF, RF)Ma­te­ri­al: Ke­ra­mik, Wa­

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