VMET - Mit Effizienz und Erfahrung zum Global Leader
Fundierte Kompetenz und Erfahrung in der Dünnfilm-Technologie trifft auf höchste Produktionseffizienz.
Dünnfilmtechnologie auf höchstem Niveau
Wir kombinieren hervorragende Produktionsleistungen mit technischer Präzision und nutzen unsere Synergien als Teil der Vital Materials Gruppe, um der führende Anbieter von Vakuumbeschichtungsanlagen und -materialien für verschiedene High-Tech-Industrien zu werden. Gemeinsam mit VMET stellen wir uns eine Zukunft vor, in der wir die Dünnschichttechnologie als internationaler Marktführer den globalen Fortschritt vorantreiben.
Werfen Sie einen Blick auf VMET - wo das kontinuierliche Engagement für Innovation und Exzellenz fest verankert ist.
Die Zukunft gestalten
Unser Beitrag zu innovativen Technologien
VMET ist unser Partner für die effiziente Fertigung von Dünnfilm-Beschichtungsanlagen in China. Gemeinsam konzentrieren wir uns auf den modularen Aufbau unserer langlebigen und zukunftsweisenden Fertigungssysteme.
Als Teil der VITAL Gruppe verfolgen wir gemeinsam mit VMET ein Ziel: Wir verbinden Produktionseffizienz und -kompetenz mit einzigartigem technologischen Know-how. Wir haben es uns zur Aufgabe gemacht, die Welt durch innovative Dünnschicht-Technologien zu verändern. Dabei setzen wir nicht nur auf Innovation und über 30-jährige Erfahrungen mit hocheffizienten funktionalen Schichten, sondern auch auf Respekt und Kollaboration.
Mit knapp 340 Mitarbeitern bei VMET ist die Produktionsstätte in Xuzhou seit ihrer Inbetriebnahme im Jahr 2021 bereits jetzt voll einsatzfähig. Auf Wunsch fertigen wir dort Ihre Anlage ganz nach Ihren Anforderungen und europäischen Standards.
Unsere Stärken sind die Grundlage Ihres Erfolgs
- 14.000m2 Produktionsfläche
- 10.000 m2 Fläche für Forschung und Entwicklung
- Maximale Kammergröße bis zu 180m3
- Produktionslinien 80m Länge sind möglich
- Modulare Anlagen nach Ihren Anforderungen
Wir bieten Ihnen die effizienteste Lösung für Ihre Applikation
VMET ist unser Partner für die Fertigung modularer Dünnfilm-Beschichtungssysteme für verschiedenste Endanwendungen zum Beispiel für die Energietechnik und Mikroelektronik. Kontaktieren Sie uns und erfahren Sie mehr über Ihre Möglichkeiten.
Unsere Anlagen im Überblick
Entdecken Sie unser Portfolio
FHR.Line.1500.H
Dieses Carrier-basierte, horizontale Magnetron Sputtersystem ermöglicht die Herstellung von Dünnschicht-Solarmodulen, Sensoren und Funktionsglas. Es bietet eine Vielzahl an Beschichtungsmöglichkeiten.
FHR.Line.1500.V7
Typische Maschinenplattform für großflächige Beschichtungen mit Carrier und vertikalem Magnetron-Sputtersystem. Sie wird unter anderem für die Herstellung von Dünnschicht-Solarmodulen eingesetzt.
FHR.Roll.1600
Diese Rolle-zu-Rolle-Anlage bietet verschiedenste Beschichtungsmöglichkeiten für flexible Substrate – insbesondere Kunststofffolien. Das System ermöglicht einen hohen Durchsatz und effiziente Produktion. Flexible Folien mit bis zu 1,6 m Bahnbreite können mit optischen oder funktionellen Beschichtungen, Metallisierungen und mehr versehen werden.
FHR.Star.150
Diese Clusteranlagen sind ideal für die Forschung und Entwicklung sowie die Herstellung von Kleinserien in der Halbleiterindustrie. Durch konfokal angeordnete Quellen sind gleichmäßige Beschichtungen auf Substraten bis zu 200 mm, wie Wafern, Chips oder Blöcken möglich.
FHR.Star.300
Cluster-Vakuum-Beschichtungssystem, ideal für Forschung und Entwicklung und Kleinserienfertigung. Es wird in der Halbleitertechnologie für die Entwicklung von Sensoren, MEMS oder kleiner funktioneller Elektronik eingesetzt. Sie bietet gleichmäßige Beschichtungen auf Substraten bis zu 200 mm wie Wafern, Chips oder Blöcken.
FHR.Star.300x400-SALD
Spatial Atomic Layer Deposition (SALD)-Systeme ermöglichen gleichmäßige und sehr dichte Beschichtungen mit hohen Abscheideraten. Die Maschine kombiniert die Vorteile der ALD-Beschichtung mit hocheffizienten Prozessen. Sie kann Substrate bis zu einer Größe von 300 × 400 mm aufnehmen.
FHR.Star.500 & 600-EOSS®
Die FHR.Star.500-EOSS® Plattform ist für die Abscheidung hochpräziser und sauberer Beschichtungen auf Substraten wie Wafern oder optischem Glas konzipiert. Mithilfe der Technologie ist die Herstellung von akkuraten optischen Filtern. Mit dieser Serie können Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm beschichtet werden. Mit der 600-EOSS® Serie sind bis zu 300 mm möglich.
Lernen Sie uns kennen
Unsere Experten beraten Sie gern
Kontaktieren Sie uns für eine Beratung, um Ihre Anwendung auf das nächste Level zu bringen. Unser Team ist gern für Sie da.