Die FHR Anlagenbau GmbH
Einer der Pioniere der Dünnschichttechnologie
Eine Gruppe engagierter Dresdner Ingenieure mit langjähriger Erfahrung in der Dünnschicht- und Mikrosystemtechnik gründete 1991 das Unternehmen mit dem Ziel, moderne funktionale Beschichtungen in maßgeschneiderten Anlagenkonzepte umzusetzen.
Heute sind wir The Thin Film Company.
Zu unserer in mehr als 30 Jahren stetig gewachsenen Kundenbasis zählen namhafte Volumenproduzenten ebenso wie kleine- und mittelständische Hidden Champions. Forscher und Entwickler aus Industrie und Lehre bauen bereits in den sehr frühen Entwicklungsphasen ihrer Produkte und Verfahren auf unsere Innovationsfreude und Kompetenz im Bereich funktionaler Beschichtungen und stellen uns regelmäßig vor neue Herausforderungen.
Nach wie vor liegen unsere Wurzeln im Sonderanlagenbau. Die von uns bisher ausgelieferten mehr als 200 Plattformen ermöglichen es uns, auf eine Vielzahl von modularen und in der Praxis erprobten Baugruppen zurückzugreifen.
Wir sind einerseits Experten, wenn es darum geht, einzigartige Anforderungen in robuste Produktionsanlagen und Prozesse zu übersetzen. Andererseits entwickeln wir auf Applikationen zugeschnittene Serienanlagen, übernehmen für Sie die Vorserienqualifikation, oder entwickeln gemeinsam mit Ihnen speziell auf Ihre Anforderungen abgestimmte Materialzusammensetzungen der in unseren Anlagen eingesetzten Verbrauchsmaterialien (Targets). Service und Consulting sind für uns selbstverständlich und runden das Portfolio ab.
Unsere Kernkompetenzen in der Dünnschichttechnologie
Engineering-Kompetenz
Das Engineering von Sonderanlagen ist für FHR ebenso eine Kernkompetenz, wie die Ableitung von Anlagenplattformen oder deren Umsetzung in Serienanlagen. Was jede unserer Anlagen eint, ist die Abscheidung funktionaler Beschichtungen im Vakuum.
Es ist unser Anspruch, neue Erkenntnisse aus Forschung und Entwicklung auch für industrielle Anwendungen nutzbar zu machen. Diesen Weg gehen wir gemeinsam mit unseren Kunden, angefangen bei der Schichtstapelentwicklung, über die Umsetzung in Pilotanlagen bis zur Skalierung im industriellen Maßstab.
Wir sind Experten wenn es darum geht, auch sehr spezielle oder individuelle Kundenanforderungen in robuste Anlagentechnik zu übersetzen. Dabei verknüpfen wir das Wissen über die Prozesstechnik, die mechanische Konstruktion, Softwareerstellung und Automatisierung. Der Clou besteht darin, Sonderanlagen so zu gestalten, dass mit ihnen wettbewerbsfähige Produkte (Cost of Ownership) herstellbar sind.
Prozesstechnik-Kompetenz
Für eine Vielzahl von Technologien haben wir uns Prozesstechnik-Kompetenz erarbeitet.
Dazu gehören:
- Reaktives und nicht-reaktives Magnetronsputtern,
- Vakuumbedampfen,
- CVD und PECVD für das hocheffiziente Abscheiden von Metallen, Oxiden und Nitriden,
- Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition) für das Abscheiden ultradünner funktionaler Beschichtungen homogener Schichtdicke auf komplexen 3D-Oberflächenstrukturen sowie
- Plasmaunterstützte Ätztechnologien für Oberflächenbehandlung und ultraeffizienten Materialabtrag (Hochrate-Ätzen).
Im Ergebnis stehen stabile, produktionstaugliche Prozesse. Wir sind erst zufrieden, wenn unsere Kunden funktionale Beschichtungen in der gewünschten Qualität herstellen.
Material-Kompetenz
Material-Kompetenz ist entscheidend für das Abscheiden perfekter funktionaler Beschichtungen auf den unterschiedlichsten Substraten. Aus diesem Grund liefern wir nicht nur Anlagen, sondern auch die darin benötigten Verbrauchsmaterialien. Sputtertargets beispielsweise werden in unserem Hause von Experten entwickelt und gefertigt, die darum wissen, dass auch Gefüge und Kornstruktur des Ausgangsmaterials Auswirkungen auf die Qualität funktionaler Beschichtungen und somit auf die Produkte unserer Kunden haben.