FHR.Roll-Produktreihe

Moderne Elektronik ist biegsam. Für die Herstellung flexibler Solarzellen, organischer Displayfolien oder biegsamer Sensoren beispielsweise bieten wir mit unseren Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und PECVD-Technologie das passende Anlagenkonzept. Als Substratmaterialien werden Metall- und Plastikfolien eingesetzt, die Beschichtungsbreite ist individuell. Das Anlagenkonzept bietet höchste Flexibilität in den Verfahrensbereichen Sputtern und Bedampfen. Ein frei programmierbares Bandlaufwerk und eine Regelung der Substrattemperatur ermöglichen das Prozessieren unterschiedlicher Substratmaterialien und Foliendicken in einem weiten Prozessfenster. Dazu verfügen wir über Know-how zur Integration von In-situ-Prozessmesstechnik und abgeleiteten Online-Prozesssteuerungen. 

Die folgenden Technologien können entsprechend Ihrer spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Rolle-zu-Rolle-Anlagen implementiert werden.

• Magnetron-Sputtern
• Thermisches Bedampfen
• Plasma-CVD
• Plasma-Ätzen (PE)

Mit den Anlagen der FHR.Roll-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.

• Erprobtes, zuverlässiges Anlagenkonzept
• Für Forschung und Produktion gleichermaßen geeignet
• Hochflexible Anlagensteuerung durch FHR-eigene Softwareprogramme
• Bei Bedarf ohne Frontseitenberührung (AVOtouch-Technologie) 
• Attraktive Invest- und Betriebskosten
• Exzellente Targetausbeute
• Schneller und einfacher Targetwechsel