VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
Sie suchen die optimale Vakuumbeschichtungslösung für Ihr Projekt?
Mit unseren Anlagen treffen Sie die perfekte Wahl.
ERPROBTE BESCHICHTUNGSLÖSUNGEN
Dünne und ultradünne funktionale Schichten müssen beim Abscheideprozess höchsten Anforderungen genügen. Wir bieten Ihnen mit unseren erprobten Anlagen zuverlässige Beschichtungslösungen.
Unser Portfolio umfasst sowohl bewährte, modulare Beschichtungssysteme als auch individuell auf Ihre Vorgaben abgestimmte Sonderanlagen – seit mehr als 30 Jahren sind wir Ihre Experten für die Herstellung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen
Unsere FHR-Produktreihen im Überblick
Magnetron-Sputtersysteme mit speziellem Trommelkonzept für kleine Substrate
FHR.BOXX-Produktreihe
- Singlekammersysteme
- Systeme mit Schleusenkammer
- Mit und ohne Subrotation
- Mit Reinraumanbindung
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, Stiften, Nadeln für F&E, sowie Produktion.
- Mikroelektronik
- Elektronik
- Leiterplatten
- Sensorik
- Display
- OLED
- Dünnschichtsolarzellen
- Dünnschichtbatterien
- und vieles mehr
Einkammer-Sputteranlagen bieten sich als preiswerte Lösung für das Vakuumbeschichten in der Kleinserien-Produktion an. Die auch “Boxcoater” genannten Sputtersysteme unserer FHR.Boxx-Produktreihe kommen ohne Schleusenkammer aus. Die Substratbestückung erfolgt direkt bei geöffneter Prozesskammer.
Als Substratträger fungiert im Rezipienten eine sich drehende Trommel, die gegebenenfalls auch für das Heizen der zumeist kleinflächigen Substrate eingesetzt werden kann. Durch Trommelrotation während des Vakuumprozesses können die zu beschichtenden Substrate an mehreren Prozessstationen vorbeigeführt werden.
Durch Einbau einer Subrotation ist sogar das Beschichten von 3D-Substraten, wie z. B. Brillengläsern oder Lampen, möglich. Insgesamt wird dabei eine gute Schichtdickenhomogenität erreicht. Auch eine Substratvorbehandlung bspw. mittels Plasmaätzen ist möglich.
Die folgenden Technologien können entsprechend den spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Box- / Trommelbeschichtungsanlagen implementiert werden.
- Magnetron-Sputtern
- Plasma-Ätzen (PE)
- Wärmebehandlung
Mit den Anlagen der FHR.Boxx-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.
- Mehrere Beschichtungs- und Vorreinigungsstationen
- Herstellung von Schichtsystemen möglich
- Möglichkeit einer Ladeschleuse
- Substrat-Subrotation
- Substratheizung
- Minimierung von Partikeln und Flitter durch vertikale Bauweise
- Einfacher Service durch gute Verfügbarkeit der Bauteile
- Attraktive Invest- und Betriebskosten
- Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
Ihr Ansprechpartner
Sie haben Fragen?
Sie wollen mehr zur FHR.Boxx-Produktreihe wissen? Unser Experte Peter Stiewe hilft Ihnen gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Weitere Produktreihen
-
Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische AnwendungenFHR.STAR-EOSS®-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zur Entwicklung und Produktion von Präzisionsoptiken -
Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-TechnologieFHR.LINE-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion. -
Frei konfigurierbare ClusteranlagenFHR.STAR-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme für das Handling von verschiedensten Substraten, wie Platten, Scheiben, Wafern oder filigranen Applikationen, wie Nadeln oder Stiften. -
Sputter-, Bedampfungs- und PECVD-Systeme für biegsame SubstrateFHR.ROLL-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion.
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Wir entwickeln und fertigen Sputtertargets bis 4000 mm Targetlänge nach Wunsch – sowohl in Großserie als auch als Einzelstücke.
Der richtige Partner an Ihrer Seite
Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:
- Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
- Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
- Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
- Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.
Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren.
Ihr Ansprechpartner
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