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Unsere Anlagen für Ihren Erfolg

VAKUUM­BESCHICHTUNGS­ANLAGEN

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ERPROBTE BESCHICHTUNGSLÖSUNGEN

Dünne und ultradünne funktionale Schichten müssen beim Abscheideprozess höchsten Anforderungen genügen. Wir bieten Ihnen mit unseren erprobten Anlagen zuverlässige Beschichtungslösungen.

Unser Portfolio umfasst sowohl bewährte, modulare Beschichtungssysteme als auch individuell auf Ihre Vorgaben abgestimmte Sonderanlagen – seit mehr als 30 Jahren sind wir Ihre Experten für die Herstellung von Vakuumbeschichtungsanlagen.

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Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen

Unsere FHR-Produktreihen im Überblick

Frei konfigurierbare Clusteranlagen

FHR.STAR-Produktreihe

    Dünnfilmbeschichtungssysteme für das Handling von verschiedensten Substraten, wie Platten, Scheiben, Wafern oder filigranen Applikationen, wie Nadeln oder Stiften. Ob Schichtabscheidung, Pre- oder Post-Treatment: mit den kombinierbaren Modulen der STAR-Serie lassen sich vielfältige Aufgaben im Bereich Forschung und Entwicklung, bei Pilotproduktionen oder der Prozessierung kleiner bis mittlerer Serien meistern.

  1. Erprobtes, flexibles Modulkonzept mit zentralem Transferarmhandling
  2. Vielfältige technologische Verfahren
  3. Handling als Einzelsubstrat oder im Carrier
  4. Manuelle Beschickung oder automatisches Handling aus dem Magazin
  5. Reinraumanbindung möglich
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  1. Mikroelektronik
  2. Leiterplatten
  3. Sensorik
  4. Display
  5. OLED
  6. Dünnschichtsolarzellen
  7. Dünnschichtbatterien
  8. Filter
  9. und vieles mehr

Ein weit entwickelter Baukasten mit zahlreichen Variationsmöglichkeiten, höchste Flexibilität in der Ausstattung der einzelnen Module, zahlreiche Eingriffsmöglichkeiten über unseren tiefgreifenden Rezepteditor: Diese und viele andere Merkmale machen unsere Vakuumprozessanlagen der FHR.Star-Produktreihe zur ersten Wahl für F&E-Anwendungen am Puls der Forschung.

Überdies eignen sich die FHR.Star-Systeme durch ihre stringente Auslegung auf Standardwafer bestens zur Lösung von Aufgaben in der Mikroelektronik und Halbleiterindustrie.

Sie haben die Wahl: Bei unserer FHR.Star Produktreihe können wir auf ein breites Spektrum bereits realisierter Anlagen zurückgreifen und Ihnen ein passendes System zusammenstellen. Oder aber wir entwickeln mit Ihnen gemeinsam Ihre individuelle Wunschkonfiguration.

Folgenden Technologien stehen zum Einsatz in unseren FHR.Star-Systemen bereit:

  1. Plasmaätzen/-Vorreinigung
  2. Magnetron-Sputtern
  3. Thermisches Verdampfen
  4. Elektronenstrahlverdampfen (engl.: “E-Beam Evaporation”)
  5. Atomlagenabscheidung (ALD & SALD)
  6. Wärmebehandlung

Abweichende Prozesse besprechen wir gerne mit Ihnen persönlich!

Mit den Anlagen der FHR.Star-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsanlagen, die Qualität, Variabilität und Zuverlässigkeit in sich vereinen.

  1. Maximale Flexibilität durch modulares Systemkonzept
  2. Maßgeschneiderte Konfiguration gemäß Kundenwunsch
  3. Effektive Raumnutzung durch variable Anordnung
  4. Einstellbarer Target-Substrat-Abstand
  5. Schneller und einfacher Targetwechsel
  6. Substrate in typischen Wafergrößen
  7. Vollautomatische Prozesskontrolle
  8. Attraktive Invest- und Betriebskosten

Passende Projektbeispiele zur Anlage

Ihr Ansprechpartner

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Sie wollen mehr zur FHR.Star-Produktreihe wissen? Unser Experte Peter Stiewe hilft Ihnen gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.

+49 35205 520-199
sales@fhr.de

Vakuumbeschichtungsanlagen

Weitere Produktreihen

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Ihr Interesse ist uns wichtig, und wir freuen uns darauf, von Ihnen zu hören!

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Wir sind Ihr Spezialist

Der richtige Partner an Ihrer Seite

Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:

  1. Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
  2. Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
  3. Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
  4. Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.

Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren. 

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Sie wollen mehr zu unseren Vakuumbeschichtungsanlagen wissen? Unser Director of Product Management Sven Häberlein hilft Ihnen gerne weiter. Rufen Sie an oder schreiben Sie uns eine Nachricht.

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