VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
Sie suchen die optimale Vakuumbeschichtungslösung für Ihr Projekt?
Mit unseren Anlagen treffen Sie die perfekte Wahl.
ERPROBTE BESCHICHTUNGSLÖSUNGEN
Dünne und ultradünne funktionale Schichten müssen beim Abscheideprozess höchsten Anforderungen genügen. Wir bieten Ihnen mit unseren erprobten Anlagen zuverlässige Beschichtungslösungen.
Unser Portfolio umfasst sowohl bewährte, modulare Beschichtungssysteme als auch individuell auf Ihre Vorgaben abgestimmte Sonderanlagen – seit mehr als 30 Jahren sind wir Ihre Experten für die Herstellung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen
Unsere FHR-Produktreihen im Überblick
Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische Anwendungen
FHR.STAR-EOSS®-Produktreihe
- Zur Beschichtung von Filtergläsern, Linsen, Spiegeln u.v.m.
- Zur Beschichtung von Dünnglas und Dickglas
- Mit Magazinschleuse
- Sputter-Up-Verfahren zur Partikelminimierung
Dünnfilmbeschichtungssysteme zur Entwicklung und Produktion von Präzisionsoptiken
- Bandpassfilter
- Antireflektive Schichten
- Hochreflektive Schichten
- Beamsplitter
- Notchfilter
- und vieles mehr
Die Anlagen unserer Produktfamilie FHR.Star-EOSS® basieren auf den Kundenforderungen an ein Präzisions-Sputtersystem für die Abscheidung optischer Mehrfachschichten mit höchsten Anforderungen an Schichtqualität und Schichtdickenhomogenität auf überwiegend flachen und ebenen Substraten.
Unsere Präzisions-Sputtersysteme eignen sich zur Abscheidung interferenzoptischer Schichtsysteme für die Herstellung dielektrischer Spiegel und optischer Filter, wie beispielsweise Bandpassfilter oder Mehrfach-Kerbfilter (Multi-Notch-Filter).
Bei dem Anlagenkonzept handelt es sich um eine gemeinsame Entwicklung mit dem Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, welches als Enhanced Optical Sputtering System (EOSS®) projektiert wurde. Im Rahmen der Weiterentwicklung wurde besonderer Wert auf Beschichtungsqualität, Prozessstabilität, Produktivität, Wartungsfreundlichkeit und die Möglichkeit, größere Substrate zu beschichten, gelegt. Das Schichtwachstum wird dabei in-situ durch ein optisches Breitband-Monitoring überwacht.
Mit einer EOSS®-Anlage erwerben Sie das fortschrittlichste Produkt, das derzeit im Markt für diese Applikation erhältlich ist.
Folgendes hat die Anlage dem Wettbewerb voraus:
- Höchste Partikelarmut durch Sputter-Up-Verfahren
- Optimales Schichtwachstum durch bipolar angesteuerte Doppelquellen
- Höchste Materialausnutzung und längste Target-Standzeiten durch Verwendung von Rohrkathoden
- Präzise Schichtdicken erzielbar mittels zeitgesteuerter Abscheidung und durch optisches Breitbandmonitoring
- Optional automatische Anlagennachführung zur Korrektur des Schichtdesigns
- Eine kompromisslos auf Produktionsprozesse ausgelegte Konstruktion
- Bis zu vier Beschichtungskompartments nutzbar
- Ein oder zwei Plasmaquellen einsetzbar
- Große Substratträger für universelle Anpassung der Substrataufnahme
- Mehrfacher Prozessdurchlauf möglich
- Einfache und schnelle Wartungszugänglichkeit
- Umfangreiche und komfortabel zu bedienende Softwareoberfläche
Ihr Ansprechpartner
Sie haben Fragen?
Sie wollen mehr zur FHR.Star-EOSS®-Produktreihe wissen? Unser Experte Ralf Pohl hilft Ihnen gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Weitere Produktreihen
-
Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-TechnologieFHR.LINE-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion. -
Frei konfigurierbare ClusteranlagenFHR.STAR-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme für das Handling von verschiedensten Substraten, wie Platten, Scheiben, Wafern oder filigranen Applikationen, wie Nadeln oder Stiften. -
Sputter-, Bedampfungs- und PECVD-Systeme für biegsame SubstrateFHR.ROLL-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion. -
Magnetron-Sputtersysteme mit speziellem Trommelkonzept für kleine SubstrateFHR.BOXX-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, Stiften und Nadeln für F&E sowie Produktion.
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Sputtertarget gesucht?
Wir entwickeln und fertigen Sputtertargets bis 4000 mm Targetlänge nach Wunsch – sowohl in Großserie als auch als Einzelstücke.
Der richtige Partner an Ihrer Seite
Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:
- Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
- Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
- Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
- Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.
Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren.
Ihr Ansprechpartner
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Sie wollen mehr zu unseren Vakuumbeschichtungsanlagen wissen? Unser Director of Product Management Sven Häberlein hilft Ihnen gerne weiter. Rufen Sie an oder schreiben Sie uns eine Nachricht.