VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
Sie suchen die optimale Vakuumbeschichtungslösung für Ihr Projekt?
Mit unseren Anlagen treffen Sie die perfekte Wahl.
ERPROBTE BESCHICHTUNGSLÖSUNGEN
Dünne und ultradünne funktionale Schichten müssen beim Abscheideprozess höchsten Anforderungen genügen. Wir bieten Ihnen mit unseren erprobten Anlagen zuverlässige Beschichtungslösungen.
Unser Portfolio umfasst sowohl bewährte, modulare Beschichtungssysteme als auch individuell auf Ihre Vorgaben abgestimmte Sonderanlagen – seit mehr als 30 Jahren sind wir Ihre Experten für die Herstellung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen
Unsere FHR-Produktreihen im Überblick
Sputter-, Bedampfungs- und PECVD-Systeme für biegsame Substrate
FHR.ROLL-Produktreihe
- Zur Beschichtung von Kunststoff- und Metallfolien
- Flexible Substrate bis 1,90 m Bandbreite
- Mit oder ohne Schleusensysteme
- Mit oder ohne Frontseiten-Rollenkontakt
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von flexiblen Substraten für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion.
- Flexible Elektronik
- Flexible Leiterplatten
- Flexible Sensorik
- Wärmeschutzfolien
- Displayfolien
- OLED auf Folie oder Dünnstglas
- Dünnschichtsolarzellen
- Dünnschichtbatterien
- Metallische Bipolarplatten
- und vieles mehr
Moderne Elektronik ist biegsam. Für die Herstellung beispielsweise flexibler Solarzellen, organischer Displayfolien oder biegsamer Sensoren bieten wir mit unseren Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und PECVD-Technologie das passende Anlagenkonzept.
Als Substratmaterialien werden Metall- und Plastikfolien eingesetzt, die Beschichtungsbreite ist individuell. Das Anlagenkonzept bietet höchste Flexibilität in den Verfahrensbereichen Sputtern und Bedampfen. Ein frei programmierbares Bandlaufwerk und eine Regelung der Substrattemperatur ermöglichen das Prozessieren unterschiedlicher Substratmaterialien und Foliendicken in einem weiten Prozessfenster.
Dazu verfügen wir über Know-how zur Integration von In-situ-Prozessmesstechnik und abgeleiteten Online-Prozesssteuerungen.
Die folgenden Technologien können entsprechend den spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Rolle-zu-Rolle-Anlagen implementiert werden:
Mit den Anlagen der FHR.Roll-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen:
- Erprobtes, zuverlässiges Anlagenkonzept
- Für Forschung und Produktion gleichermaßen geeignet
- Hochflexible Anlagensteuerung durch FHR-eigene Softwareprogramme
- Bei Bedarf ohne Frontseitenberührung (AVOtouch-Technologie)
- Attraktive Invest- und Betriebskosten
- Exzellente Targetausbeute
- Schneller und einfacher Targetwechsel
Passende Projektbeispiele zur Anlage
-
Verdrahtung in Smartphones und LaptopsFlexible Leiterplatten
Folienbeschichtungsanlage zur ein- oder zweiseitigen Kupfermetallisierung
-
Solarzellen auf Planen und für unterwegsFlexible CIGS-Solarzellen - Produktion
Rolle-zu-Rolle-Produktionsanlage zur Abscheidung von CIGS-Solarzellen auf Folien
-
Solarzellen auf Planen und für unterwegsFlexible CIGS-Solarzellen - F&E
Rolle-zu-Rolle-Laboranlage zur Abscheidung von CIGS-Solarzellen auf Folien
Ihr Ansprechpartner
Sie haben Fragen?
Sie wollen mehr zur FHR.Roll-Produktreihe wissen? Unser Experte Sven Häberlein hilft Ihnen gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Weitere Produktreihen
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Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische AnwendungenFHR.STAR-EOSS®-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zur Entwicklung und Produktion von Präzisionsoptiken -
Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-TechnologieFHR.LINE-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion. -
Frei konfigurierbare ClusteranlagenFHR.STAR-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme für das Handling von verschiedensten Substraten, wie Platten, Scheiben, Wafern oder filigranen Applikationen, wie Nadeln oder Stiften. -
Magnetron-Sputtersysteme mit speziellem Trommelkonzept für kleine SubstrateFHR.BOXX-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, Stiften und Nadeln für F&E sowie Produktion.
Produkt anfragen
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Ihr Interesse ist uns wichtig, und wir freuen uns darauf, von Ihnen zu hören!
Sputtertarget gesucht?
Wir entwickeln und fertigen Sputtertargets bis 4000 mm Targetlänge nach Wunsch – sowohl in Großserie als auch als Einzelstücke.
Der richtige Partner an Ihrer Seite
Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:
- Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
- Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
- Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
- Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.
Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren.
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