VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
Sie suchen die optimale Vakuumbeschichtungslösung für Ihr Projekt?
Mit unseren Anlagen treffen Sie die perfekte Wahl.
ERPROBTE BESCHICHTUNGSLÖSUNGEN
Dünne und ultradünne funktionale Schichten müssen beim Abscheideprozess höchsten Anforderungen genügen. Wir bieten Ihnen mit unseren erprobten Anlagen zuverlässige Beschichtungslösungen.
Unser Portfolio umfasst sowohl bewährte, modulare Beschichtungssysteme als auch individuell auf Ihre Vorgaben abgestimmte Sonderanlagen – seit mehr als 30 Jahren sind wir Ihre Experten für die Herstellung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen
Unsere FHR-Produktreihen im Überblick
Inline-Vakuumbeschichtungsanlagen mit PVD- und Plasma-CVD-Technologie
FHR.LINE-Produktreihe
- Horizontale Inlinesysteme
- Vertikale Inlinesysteme
- Carrierlos und mit Carriern
- Mit und ohne Carrier-Rückführungssysteme
- Auf Wunsch mit vollautomatischer Substratbestückung
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E, sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion.
- Elektronik
- Leiterplatten
- Sensorik
- Display
- OLED
- Dünnschichtsolarzellen
- Dünnschichtbatterien
- Bipolarplatten
- Filter
- Verschleiß- oder Korrosionsschutz
- Dekorative Beschichtung
- und vieles mehr
Inline-Konzepte sind die richtige Antwort für hochproduktives Magnetron-Sputtern, thermisches Bedampfen oder PECVD-Beschichten jeglicher flächigen Substrate. Wir bieten individuell auf Ihre Substratgröße zugeschnittene Inline-Vakuumbeschichtungslösungen mit horizontaler oder vertikaler Substratlage.
Eine Substratvorbehandlung durch Heizen oder Ätzen sowie eine vollautomatische Bestückung können von uns kundenspezifisch integriert werden. Als hochproduktive Durchlaufanlagen mit konstantem Produkt, oder als Pendelanlagen mit hoher Flexibilität – dank wechselbarer Targets sind Inline-Anlagen breit einsetzbar.
Die folgenden Technologien können entsprechend den spezifischen Anforderungen des einzelnen Kunden auf unseren Inline-Anlagen implementiert werden:
Mit den Anlagen der FHR.Line-Produktfamilie erwerben unsere Kunden hochwertige Beschichtungsmaschinen, die vielfältige Eigenschaften und Vorteile in sich vereinen.
- Attraktive Invest- und Betriebskosten
- Vollautomatisches Be- und Entladen
- Doppelseitenbeschichtung möglich
- Verwendung FHR-eigener Sputtertechnologie
- Reduzierter Aufwand bei Modifikation oder Erweiterung durch modularen Aufbau
- Geschlossener sekundärer Kühlkreislauf möglich
- Vollautomatische Prozesskontrolle
- Hohe Produktivität
Passende Projektbeispiele zur Anlage
- Physikalische und chemische Parameter messen
Dünnschichtsensoren Inline
Hochproduktive Sputteranlage zur Herstellung von Sensoren
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Solarthermische KraftwerkeAbsorberrohre für die Solarthermie
Sputter-Beschichtungssystem für selektive Absorberschichten auf Wärmeträgerrohren
-
Hocheffiziente Energielieferanten für unterwegsDünnschicht-Photovoltaik auf Wafern
Sputter-Beschichtungssystem für Antireflex-Schichten
Ihr Ansprechpartner
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Sie wollen mehr zur FHR.Line-Produktreihe wissen? Unser Experte Sven Häberlein hilft Ihnen gerne weiter. Melden Sie sich bei uns.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Weitere Produktreihen
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Präzisions-Sputter-Beschichtungssysteme für interferenzoptische AnwendungenFHR.STAR-EOSS®-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zur Entwicklung und Produktion von Präzisionsoptiken -
Frei konfigurierbare ClusteranlagenFHR.STAR-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme für das Handling von verschiedensten Substraten, wie Platten, Scheiben, Wafern oder filigranen Applikationen, wie Nadeln oder Stiften. -
Sputter-, Bedampfungs- und PECVD-Systeme für biegsame SubstrateFHR.ROLL-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, für F&E sowie Pilot- oder hochvolumige Serienproduktion. -
Magnetron-Sputtersysteme mit speziellem Trommelkonzept für kleine SubstrateFHR.BOXX-Produktreihe
Dünnfilmbeschichtungssysteme zum Beschichten von Platten, Scheiben, Wafern, Stiften und Nadeln für F&E sowie Produktion.
Produkt anfragen
Sie möchten mehr über unser Produkt erfahren? Wir stehen Ihnen gerne zur Verfügung. Kontaktieren Sie uns noch heute, um detaillierte Informationen anzufordern, Fragen zu stellen oder eine individuelle Beratung zu erhalten.
Ihr Interesse ist uns wichtig, und wir freuen uns darauf, von Ihnen zu hören!
Sputtertarget gesucht?
Wir entwickeln und fertigen Sputtertargets bis 4000 mm Targetlänge nach Wunsch – sowohl in Großserie als auch als Einzelstücke.
Der richtige Partner an Ihrer Seite
Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:
- Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
- Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
- Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
- Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.
Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren.
Ihr Ansprechpartner
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