Was steckt hinter dem Co-Sputtern?
Das Co-Sputtern ist eine fortschrittliche Methode, bei der mehrere Quellen simultan zum Einsatz kommen, um unterschiedliche Materialien auf eine gegebene Oberfläche zu übertragen. Diese Technik gestattet die Erzeugung von Materialkombinationen, die in einem einzigen Target oder Stück sonst nicht herstellbar wären. Diese besonderen Kombinationen sind oft als „Mosaiktargets“ bekannt. Ein herausragender Vorteil des Co-Sputterns ist die Möglichkeit, mit einem einzigen Satz von Materialien eine Vielfalt von Schichtstrukturen zu kreieren. Dieser Ansatz ist nicht nur wirtschaftlich sinnvoll, da er Zeit einspart und zusätzliche Kosten vermeidet, sondern auch strategisch, insbesondere bei der Entwicklung innovativer Produkte. Co-Sputtern erweist sich daher als besonders vorteilhaft für die Forschung und Entwicklung sowie für das Entdecken und Einführen neuer
- Produktionsprozesse.
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- Produktionsprozesse.
Was steckt hinter dem Co-Sputtern?
Das Co-Sputtern ist eine fortschrittliche Methode, bei der mehrere Quellen simultan zum Einsatz kommen, um unterschiedliche Materialien auf eine gegebene Oberfläche zu übertragen. Diese Technik gestattet die Erzeugung von Materialkombinationen, die in einem einzigen Target oder Stück sonst nicht herstellbar wären. Diese besonderen Kombinationen sind oft als „Mosaiktargets“ bekannt. Ein herausragender Vorteil des Co-Sputterns ist die Möglichkeit, mit einem einzigen Satz von Materialien eine Vielfalt von Schichtstrukturen zu kreieren. Dieser Ansatz ist nicht nur wirtschaftlich sinnvoll, da er Zeit einspart und zusätzliche Kosten vermeidet, sondern auch strategisch, insbesondere bei der Entwicklung innovativer Produkte. Co-Sputtern erweist sich daher als besonders vorteilhaft für die Forschung und Entwicklung sowie für das Entdecken und Einführen neuer Produktionsprozesse.
Test
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"TEst"
TEst
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Unsere Geschichte – vom VEB Elektromat zum internationalen Hightech-Unternehmen
2020
FHR wird 100-prozentige Tochtergesellschaft der Vital-Gruppe
2018
Weiterführung der Forschungszusammenarbeit mit SERIS auf dem Gebiet hochwertiger TCO- und Kontaktschichten
2017
Großauftrag der Manz AG zur Lieferung von Inline-Beschichtungstechnik für CIGS-Solarmodulfabriken
2017
Auslieferung der Präzisionsbeschichtungsanlage FHR.Star.600-EOSS für optische Großsubstrate, Prismen und Linsen
2015
Lieferung von vier vertikalen Inline-Beschichtungsanlagen für metallische und dielektrische Schichten mit vollautomatischer robotergesteuerter Be- und Entstückung
2015
Lieferung eines 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersystems für optisch transparente Folien (Low-E-Beschichtung)
2013
Auslieferung der 3. Anlagengeneration zur Vakuumbeschichtung solarthermischer Absorberrohre für CSP-Kraftwerke
2012
Lieferung mehrerer 1600-mm-Rolle-zu-Rolle-Sputtersysteme und 800-mm-Rolle-zu-Rolle-Bedampfungssysteme für die Produktion flexibler Solarzellen auf CIGS-Basis
2011
Lieferung der EOSS®-Sputteranlage für präzisionsoptische Anwendungen an das Fraunhofer IST
2011
Lieferung der weltweit ersten Produktionsanlage zur Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtung für 300 mm breite organische Solarzellen an die Firma Heliatek
2009
Einweihung des neuen Bürokomplexes und zwei weiterer Fertigungshallen in Ottendorf-Okrilla
2008
Beginn der Lieferung von Großflächen-Glasbeschichtungsanlagen für die Photovoltaik-Industrie
2008
FHR wird eine 100-prozentige Tochter der centrotherm photovoltaics AG
2007
Bau und Lieferung der ersten CVD-Prozessanlagen zur Atomlagenabscheidung (ALD) auf 300-mm-Wafern
2003
Entwicklung neuartiger Rolle-zu-Rolle-Systemlösungen zur Folienbeschichtung
2000
Inbetriebnahme des Neubaus am Standort Ottendorf-Okrilla
1997
Erstzertifizierung nach DIN EN ISO 9001
1996
Bau und Lieferung der ersten RIE-Plasmaätzanlagen für F&E-Anwendungen
1996
Beginn der strategischen Zusammenarbeit mit führenden Industriekunden zur Entwicklung komplexer Anlagensysteme
1994
Ausbau und Erweiterung der Fertigung und Bondtechnologie für Großsputtertargets
1993
Umzug des Firmensitzes von Dresden nach Ottendorf-Okrilla
1992
Entwicklung neuartiger Cluster- und Inline-Systemlösungen zur Vakuumbeschichtung
1991
Gründung der Firma FHR Anlagenbau GmbH im wiedervereinigten Deutschland durch drei Ingenieure des vormaligen VEB Elektromat in Dresden
1980
Zusammenlegung des VEB Elektromat Dresden und des Instituts für Mikroelektronik Dresden zum VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik (ZFMT)
1975
Entwicklung und Bau der ersten Zerstäubungsanlagen für industrienahe Vakuumbeschichtungen in Dresden
1961
Gründung des VEB Elektromat Dresden als Lieferant von technologischen Ausrüstungen für die Produktion von Halbleiterbauelementen
1852
Beobachtung des Phänomens der Elektrodenzerstäubung durch William R. Grove
1852
Test
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Spectroscopy and TelecommunicationsPrecision Optical Filters
Precision sputter coating system for interference optics applications
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Thin Film Sensors – Inline
Highly productive sputtering system for the production of sensors
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Solar Thermal Power PlantsAbsorber Pipes for Solar Thermal Energy
Sputter coating system for selective absorber layers on heat transfer tubes
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Highly Efficient Energy Suppliers for on the MoveThin Film Photovoltaics on Wafers
Sputter coating system for anti-reflective coatings
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Connectors and High-frequency ConductorsCorrosion-resistant Electronics
Highly flexible sputter coating system for electronic functional layers.
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Temperature-sensitive ElectronicsNew Materials for Thin Layers
Combination coating system with PECVD, ALD and FLA technology for layer development
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New Methods of Data ProcessingMicroelectronics of the Future
Highly flexible sputter coating system for electronic functional layers
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Measure Physical and Chemical ParametersThin Film Sensor Cluster
Flexible coating system for the production of various sensors
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MEMS, Sensors and Thin Film BatteriesMEMS & Batteries
ALD coating system on 300 mm wafers for miniaturized complex systems
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Wiring in Smartphones and LaptopsFlexible Printed Circuit Boards
Film coating system for single or double-sided copper metallization
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Solar Cells on Tarpaulins and on the MoveFlexible CIGS Solar Cells – Production
Roll-to-roll production system for the deposition of CIGS solar cells on films
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Solar Cells on Tarpaulins and on the MoveFlexible CIGS Solar Cells – R&D
Roll-to-roll laboratory system for the deposition of CIGS solar cells on films
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unserer Events vor
Wir stellen einige
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25 - 27 Mar 2026ShanghaiSemicon China 2026Trade Shows
13 - 16 Oct 2025DresdenV2025 - International Conference & ExhibitionTrade Shows
07 - 09 Oct 2025PhoenixSEMICON WestTrade Shows![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/9/a/csm_2025-SEMI-Taiwan-Event-Teaser_594f290eb9.jpg "[Translate to English:]")
10 - 12 Sep 2025TaipeiSEMICON Taiwan 2025Trade Shows
10 - 12 Sep 2025ShenzhenCIOE - China International Optoelectronic ConferenceTrade Shows
24 - 27 Jun 2025MunichLaser World of PhotonicsTrade Shows
20 - 21 May 2025NashvilleSVC TechCon 2025Trade Shows
26 - 28 Mar 2025ShanghaiSemicon China 2025Trade Shows
20 Feb 2025Superconducting Amorphous Thin Films Offer Applications in Modern Quantum TechnologyNews
24 - 26 Jan 2025KarrierestartHR Events![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/3/9/csm_2024-Glasstec-Teaser_d3f8130dfb.jpg "[Translate to English:]")
22 - 25 Oct 2024DüsseldorfGlasstecTrade Shows- 11 - 13 Sep 2024ShenzhenCIOE - China International Optoelectronic ConferenceTrade Shows
04 - 06 Sep 2024TaipeiSEMICON TaiwanTrade Shows![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/d/4/csm_2024-PSE-Event-Teaser_ef38f901cd.jpg "[Translate to English:]")
02 - 05 Sep 2024ErfurtPSE | 19th International Conference on Plasma Surface EngineerinTrade Shows
07 Aug 2024Quantum Materials: The New Era of Thin Film ApplicationNews![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/b/c/csm_Intersolar-List-Teaser_08513001aa.jpg "[Translate to English:]")
19 - 21 Jun 2024MünchenIntersolar | The Smarter E EuropeTrade Shows![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/5/a/csm_Genial-Sozial-Teaser_4f67b6db31.jpg "[Translate to English:]")
18 - 18 Jun 2024DresdenGenial SozialHR Events![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/b/c/csm_Sensor-Test-Teaser_c52ca4ed86.jpg "[Translate to English:]")
11 - 13 Jun 2024NürnbergSensor + TestTrade Shows![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/a/e/csm_Optatec-Teaser_c1c07e0d33.jpg "[Translate to English:]")
14 - 16 May 2024Frankfurt a.M.OptatecTrade Shows
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19 - 21 Jan 2024DresdenKarriereStart DresdenHR Events
28 Sep 2022Ultra-thin glass used for full roll-to-roll deposition of OLEDsNews
05 Apr 2021Spatial atomic layer deposition system FHR.Star.400x300-SALD deliveredNews
05 Dec 2019centrotherm international AG strengthens its core business by selling its subsidiary FHR Anlagenbau GmbH to VitalNews
10 Jul 2018Continuing research collaboration between SERIS and FHR in the field of advanced TCO and contact coatingsNews
13 Jul 2017FHR Anlagenbau was awarded a major contract by Manz AG for the delivery of inline coating technology for CIGS solar module factories and aims at strategic partnership to further develop thin-film technologyNews
17 Mar 2015FHR to deliver roll-to-roll vacuum coating system for the production of thermal protection filmsNews
27 Nov 2014FHR provides third-generation tube coating solutions for solar thermal absorbers in concentrated solar power plants (CSP) – highly productive sputtering systems to deposit complex thin film systems on tube surfacesNews
05 Nov 2013Research collaboration initiated between the Solar Energy Research Institute of Singapore (SERIS) and FHR Anlagenbau GmbH in the field of new Transparent Conductive Oxide (TCO) coatingsNews![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/9/d/csm_03-FHR.Roll.1600-Folie_bff23219b1.jpeg "[Translate to English:]")
24 Sep 2012FHR introduces highly productive CIGS foil coating solutions for the photovoltaics industry and presents outstanding results in layer deposition of transparent electrodes (TCO)News
18 Jul 2012FHR Anlagenbau informs customers and suppliers about its unchanged continuation of business operationsNews![[Translate to English:]](/fileadmin/_processed_/b/6/csm_fhrroll300-1200px-1_ffd9789224.jpg "[Translate to English:]")
07 Jun 2011FHR expands foil coating technology portfolio with the FHR.Roll.300-PECVD platformNews
17 Feb 2011centrotherm photovoltaics focuses on greater efficiency in the solar value chain with further improvements in its systems on show at SNEC in ShanghaiNews
15 Nov 2010centrotherm photovoltaics subsidiary FHR Anlagenbau receives major order for CIGS thin film solar cell production systemsNews- 14 - 04 Jul 2010Heliatek and FHR co-operate on construction of first vacuum coating plant for organic photovoltaic units (OPV)News
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